Back to EUR-Lex homepage

EUR-Lex Access to European Union law

Back to EUR-Lex homepage

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

Use quotation marks to search for an "exact phrase". Append an asterisk (*) to a search term to find variations of it (transp*, 32019R*). Use a question mark (?) instead of a single character in your search term to find variations of it (ca?e finds case, cane, care).
Search tips
Need more search options? Use the Advanced search
You are here

Document 32022R0001R(01)

Rectificare la Regulamentul delegat (UE) 2022/1 al Comisiei din 20 octombrie 2021 de modificare a Regulamentului (UE) 2021/821 al Parlamentului European și al Consiliului în ceea ce privește lista produselor cu dublă utilizare (Jurnalul Oficial al Uniunii Europene L 3 din 6 ianuarie 2022)

JO L 20, 31.1.2022, p. 282–282 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, GA, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2022/1/corrigendum/2022-01-31/oj

31.1.2022   

RO

Jurnalul Oficial al Uniunii Europene

L 20/282

Rectificare la Regulamentul delegat (UE) 2022/1 al Comisiei din 20 octombrie 2021 de modificare a Regulamentului (UE) 2021/821 al Parlamentului European și al Consiliului în ceea ce privește lista produselor cu dublă utilizare

( Jurnalul Oficial al Uniunii Europene L 3 din 6 ianuarie 2022 )

La pagina 142, în anexă, punctul 3B001.f se înlocuiește cu următorul text:

„f.

echipamente litografice, după cum urmează:

1.

echipamente de aliniere și expunere cu repetiție secvențială (cu repetiție directă pe plachetă) sau cu repetiție și scanare (scanere), pentru prelucrarea plachetelor utilizând metode foto-optice sau cu raze X și care au oricare dintre următoarele caracteristici:

a.

o lungime de undă a sursei de lumină mai mică de 193 nm; sau

b.

capabile să producă un eșantion cu o „dimensiune a elementului de rezoluție minimă” (MRF) mai mică sau egală cu 45 nm;

Notă tehnică:

„Dimensiunea elementului de rezoluție minimă” (MRF) se calculează cu ajutorul formulei următoare:

Image 1

unde factorul K = 0,35

2.

echipamente de litografie cu imprimare, capabile să producă elemente mai mici sau egale cu 45 nm;

Notă:

3B001.f.2. include:

—

unelte de imprimare cu microcontact

—

unelte de embosare la cald

—

unelte de nanoimprimare litografică

—

unelte de litografie cu imprimare de tip „step and flash” (S-FIL)

3.

echipamente special concepute pentru executarea măștilor care au toate caracteristicile următoare:

a.

un fascicul de electroni, de ioni sau „laser” focalizat deflectat; și

b.

care prezintă oricare dintre următoarele caracteristici:

1.

o dimensiune a spotului mai mică de 65 nm la lățimea integrală la jumătatea înălțimii maxime (FWHM) și o plasare a imaginii mai mică de 17 nm (medie aritmetică + 3 sigma); sau

2.

neutilizat;

3.

o eroare de suprapunere la nivelul celui de-al doilea strat mai mică de 23 nm (medie + 3 sigma) pe mască;

4.

echipamente concepute pentru prelucrarea dispozitivelor care utilizează metode directe de scriere și care au toate caracteristicile următoare:

a.

un fascicul de electroni focalizat deflectat; și

b.

care prezintă oricare dintre următoarele caracteristici:

1.

o dimensiune minimă a fasciculului mai mică sau egală cu 15 nm; sau

2.

o eroare de suprapunere mai mică de 27 nm (medie + 3 sigma);”.
Top