Access to European Union law
<a href="https://eur-lex.europa.eu/content/help/eurlex-content/experimental-features.html" target="_blank">More about the experimental features corner</a>
Choose the experimental features you want to try
EUR-Lex
Access to European Union law

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

You are here
Use quotation marks to search for an "exact phrase". Append an asterisk (*) to a search term to find variations of it (transp*, 32019R*). Use a question mark (?) instead of a single character in your search term to find variations of it (ca?e finds case, cane, care).
Search tips
Need more search options? Use the Advanced search

Document 32022R0001R(01)

Διορθωτικό στον κατ’ εξουσιοδότηση κανονισμό (ΕΕ) 2022/1 της Επιτροπής, της 20ής Οκτωβρίου 2021, για την τροποποίηση του κανονισμού (ΕΕ) 2021/821 του Ευρωπαϊκού Κοινοβουλίου και του Συμβουλίου όσον αφορά τον κατάλογο ειδών διπλής χρήσης (Επίσημη Εφημερίδα της Ευρωπαϊκής Ένωσης L 3 της 6ης Ιανουαρίου 2022)

ΕΕ L 20 της 31.1.2022, p. 282–282 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, GA, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2022/1/corrigendum/2022-01-31/oj

31.1.2022   

EL

Επίσημη Εφημερίδα της Ευρωπαϊκής Ένωσης

L 20/282

Διορθωτικό στον κατ’ εξουσιοδότηση κανονισμό (ΕΕ) 2022/1 της Επιτροπής, της 20ής Οκτωβρίου 2021, για την τροποποίηση του κανονισμού (ΕΕ) 2021/821 του Ευρωπαϊκού Κοινοβουλίου και του Συμβουλίου όσον αφορά τον κατάλογο ειδών διπλής χρήσης

( Επίσημη Εφημερίδα της Ευρωπαϊκής Ένωσης L 3 της 6ης Ιανουαρίου 2022 )

Στη σελίδα 142, στο παράρτημα, στο σημείο 3B001.στ, το κείμενο τροποποιείται ως εξής:

«στ.

Εξοπλισμός λιθογραφίας, ως εξής:

1.

Εξοπλισμός ευθυγράμμισης και έκθεσης step and repeat (με άμεσο βήμα πάνω στο πλακίδιο) ή step and scan (με σάρωση) για την επεξεργασία πλακιδίων με τη χρήση φωτοοπτικών μεθόδων ή μεθόδων ακτίνων Χ και ο οποίος έχει οποιοδήποτε από τα ακόλουθα:

α.

Μήκος κύματος φωτεινής πηγής βραχύτερο από 193 nm· ή

β.

Ικανότητα να συνθέτει σχήματα με “ελάχιστο διαχωρίσιμο μέγεθος γνωρίσματος” (MRF) 45 nm ή μικρότερο·

Τεχνική σημείωση:

Το “ελάχιστο διαχωρίσιμο μέγεθος γνωρίσματος” (MRF) υπολογίζεται με τον εξής τύπο:

Image 1

όπου ο συντελεστής K = 0,35

2.

Εξοπλισμός εντυπωτικής λιθογραφίας ικανός να παράγει λεπτομέρειες διαστάσεων 45 nm και κάτω·

Σημείωση:

Στο σημείο 3Β001.στ.2. περιλαμβάνονται:

—

Τα εργαλεία τυπογραφίας μικροεπαφής

—

Τα εργαλεία θερμοεντύπωσης

—

Τα εργαλεία νανοεντυπωτικής λιθογραφίας

—

Τα εργαλεία εντυπωτικής λιθογραφίας με βήμα και λάμψη (step-and-flash)

3.

Εξοπλισμός που έχει ειδικά σχεδιαστεί για την παραγωγή μασκών με όλα τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

α.

Εκτρεπόμενη εστιασμένη δέσμη ηλεκτρονίων, δέσμη ιόντων ή δέσμη «λέιζερ», και

β.

Με οποιοδήποτε από τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

1.

Μέγεθος κηλίδας μισό του μεγίστου και με πλήρες πλάτος (FWHM) μικρότερο των 65 nm και θέση εικόνας μικρότερη των 17 nm (μέσο σφάλμα + 3 σίγμα)· ή

2.

Δεν χρησιμοποιείται·

3.

Σφάλμα επίστρωσης δευτέρου επιπέδου μικρότερο από 23 nm (μέσο σφάλμα + 3 σίγμα) επί της μάσκας·

4.

Εξοπλισμός που έχει ειδικά σχεδιαστεί για επεξεργασία συσκευών με τη χρήση μεθόδων άμεσης εγγραφής και έχει όλα τα ακόλουθα:

α.

Εκτρεπόμενη και εστιασμένη δέσμη ηλεκτρονίων·και

β.

Με οποιοδήποτε από τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

1.

Ελάχιστο μέγεθος δέσμης ίσο ή μικρότερο από 15 nm· ή

2.

Σφάλμα επικάλυψης μικρότερο από 27 nm (μέσος όρος + 3 σίγμα)·».
Top