Access to European Union law
<a href="https://eur-lex.europa.eu/content/help/eurlex-content/experimental-features.html" target="_blank">More about the experimental features corner</a>
Choose the experimental features you want to try
EUR-Lex
Access to European Union law

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

You are here
Use quotation marks to search for an "exact phrase". Append an asterisk (*) to a search term to find variations of it (transp*, 32019R*). Use a question mark (?) instead of a single character in your search term to find variations of it (ca?e finds case, cane, care).
Search tips
Need more search options? Use the Advanced search

Document 32022R0001R(01)

Ispravak Delegirane uredbe Komisije (EU) 2022/1 оd 20. listopada 2021. o izmjeni Uredbe (EU) 2021/821 Europskog parlamenta i Vijeća u pogledu popisa robe s dvojnom namjenom (Službeni list Europske unije L 3 od 6. siječnja 2022.)

SL L 20, 31.1.2022, p. 282–282 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, GA, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2022/1/corrigendum/2022-01-31/oj

31.1.2022   

HR

Službeni list Europske unije

L 20/282

Ispravak Delegirane uredbe Komisije (EU) 2022/1 оd 20. listopada 2021. o izmjeni Uredbe (EU) 2021/821 Europskog parlamenta i Vijeća u pogledu popisa robe s dvojnom namjenom

( Službeni list Europske unije L 3 od 6. siječnja 2022 .)

Na stranici 142., u Prilogu, točka 3B001.f mijenja se kako slijedi:

„f.

litografska oprema kako slijedi:

1.

oprema za poravnavanje, izlaganje i ponavljanje (izravan korak na poluvodičkoj pločici) ili oprema za skakanje i pretraživanje (pretraživač) za obradu poluvodičke pločice s pomoću fotooptičke ili metode X-zraka, koja ima bilo koju od sljedećih značajki:

a.

valna duljina svjetlosnog izvora kraća od 193 nm; ili

b.

sposobnost proizvodnje oblika s ‚minimalnom veličinom razlučive značajke’ (MRF) od 45 nm ili manje;

Tehnička napomena:

‚Minimalna veličina razlučive značajke’ (Minimum Resolvable Feature – MRF) izračunava se s pomoću sljedeće formule:

Image 1

pri čemu je faktor K = 0,35

2.

litografska oprema za tiskanje s mogućnošću izrade detalja od 45 nm ili manjih;

Napomena:

3B001.f.2. uključuje:

—

mikrokontaktne alate za tiskanje,

—

alate za vruće utiskivanje,

—

tiskarske litografske alate nanopreciznosti

—

„step and flash” tiskarske litografske alate (S-FIL).

3.

oprema posebno namijenjena izradi maski koja ima sve sljedeće značajke:

a.

odstupanje fokusiranog elektronskog snopa, ionskog snopa ili „laserskog” snopa i

b.

nešto od sljedećega:

1.

veličina točke FWHM (puna širina na polovini visine) manja od 65 nm i pozicioniranje slike manje od 17 nm (srednja vrijednost +3 sigme); ili

2.

ne upotrebljava se;

3.

pogreška preklapanja drugog sloja manja od 23 nm (srednja vrijednost + 3 sigme) na maski;

4.

oprema namijenjena obradi uređaja s pomoću metoda izravnog zapisa, koja ima sve sljedeće značajke:

a.

odstupanje fokusiranog elektronskog snopa i

b.

nešto od sljedećega:

1.

najmanja veličina snopa od 15 nm ili manja; ili

2.

pogreška preklapanja manja od 27 nm (srednja vrijednost + 3 sigme);”.
Top