EUR-Lex Access to European Union law

Back to EUR-Lex homepage

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

Document 32022R0001R(01)

Ispravak Delegirane uredbe Komisije (EU) 2022/1 оd 20. listopada 2021. o izmjeni Uredbe (EU) 2021/821 Europskog parlamenta i Vijeća u pogledu popisa robe s dvojnom namjenom (Službeni list Europske unije L 3 od 6. siječnja 2022.)

SL L 20, 31.1.2022, p. 282–282 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, GA, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2022/1/corrigendum/2022-01-31/oj

31.1.2022   

HR

Službeni list Europske unije

L 20/282


Ispravak Delegirane uredbe Komisije (EU) 2022/1 оd 20. listopada 2021. o izmjeni Uredbe (EU) 2021/821 Europskog parlamenta i Vijeća u pogledu popisa robe s dvojnom namjenom

( Službeni list Europske unije L 3 od 6. siječnja 2022 .)

Na stranici 142., u Prilogu, točka 3B001.f mijenja se kako slijedi:

„f.

litografska oprema kako slijedi:

1.

oprema za poravnavanje, izlaganje i ponavljanje (izravan korak na poluvodičkoj pločici) ili oprema za skakanje i pretraživanje (pretraživač) za obradu poluvodičke pločice s pomoću fotooptičke ili metode X-zraka, koja ima bilo koju od sljedećih značajki:

a.

valna duljina svjetlosnog izvora kraća od 193 nm; ili

b.

sposobnost proizvodnje oblika s ‚minimalnom veličinom razlučive značajke’ (MRF) od 45 nm ili manje;

Tehnička napomena:

‚Minimalna veličina razlučive značajke’ (Minimum Resolvable Feature – MRF) izračunava se s pomoću sljedeće formule:

Image 1

pri čemu je faktor K = 0,35

2.

litografska oprema za tiskanje s mogućnošću izrade detalja od 45 nm ili manjih;

Napomena:

3B001.f.2. uključuje:

mikrokontaktne alate za tiskanje,

alate za vruće utiskivanje,

tiskarske litografske alate nanopreciznosti

„step and flash” tiskarske litografske alate (S-FIL).

3.

oprema posebno namijenjena izradi maski koja ima sve sljedeće značajke:

a.

odstupanje fokusiranog elektronskog snopa, ionskog snopa ili „laserskog” snopa i

b.

nešto od sljedećega:

1.

veličina točke FWHM (puna širina na polovini visine) manja od 65 nm i pozicioniranje slike manje od 17 nm (srednja vrijednost +3 sigme); ili

2.

ne upotrebljava se;

3.

pogreška preklapanja drugog sloja manja od 23 nm (srednja vrijednost + 3 sigme) na maski;

4.

oprema namijenjena obradi uređaja s pomoću metoda izravnog zapisa, koja ima sve sljedeće značajke:

a.

odstupanje fokusiranog elektronskog snopa i

b.

nešto od sljedećega:

1.

najmanja veličina snopa od 15 nm ili manja; ili

2.

pogreška preklapanja manja od 27 nm (srednja vrijednost + 3 sigme);”.


Top