Access to European Union law
<a href="https://eur-lex.europa.eu/content/help/eurlex-content/experimental-features.html" target="_blank">More about the experimental features corner</a>
Choose the experimental features you want to try
EUR-Lex
Access to European Union law

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

You are here
Use quotation marks to search for an "exact phrase". Append an asterisk (*) to a search term to find variations of it (transp*, 32019R*). Use a question mark (?) instead of a single character in your search term to find variations of it (ca?e finds case, cane, care).
Search tips
Need more search options? Use the Advanced search

Document 32022R0001R(01)

Oikaisu komission delegoituun asetukseen (EU) 2022/1, annettu 20 päivänä lokakuuta 2021, Euroopan parlamentin ja neuvoston asetuksen (EU) 2021/821 muuttamisesta kaksikäyttötuotteiden luettelon osalta (Euroopan unionin virallinen lehti L 3, 6. tammikuuta 2022)

EUVL L 20, 31.1.2022, p. 282–282 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, GA, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2022/1/corrigendum/2022-01-31/oj

31.1.2022   

FI

Euroopan unionin virallinen lehti

L 20/282

Oikaisu komission delegoituun asetukseen (EU) 2022/1, annettu 20 päivänä lokakuuta 2021, Euroopan parlamentin ja neuvoston asetuksen (EU) 2021/821 muuttamisesta kaksikäyttötuotteiden luettelon osalta

( Euroopan unionin virallinen lehti L 3, 6. tammikuuta 2022 )

Sivulla 142, liitteessä, kohta 3B001.f korvataan seuraavasti:

”f.

Seuraavat litografialaitteet:

1.

Askeltavat kohdistus- ja valotuslaitteet (suora kohdistus kiekkoon) tai kohdistus- ja pyyhkäisy- (skanneri) laitteet kiekkojen prosessointia varten, jotka käyttävät foto-optisia tai röntgenmenetelmiä ja joilla on jokin seuraavista ominaisuuksista:

a.

Valolähteen aallonpituus lyhyempi kuin 193 nm; tai

b.

Ne kykenevät tuottamaan kuvion, jonka ’pienin erottuva kuvion koko’ (MRF) on enintään 45 nm;

Tekn. huom.:

’Pienin erottuva kuvion koko’ (MRF) lasketaan seuraavalla kaavalla, jossa:

Image 1

jossa K-kerroin = 0,35

2.

Kohokuviointilaitteet, jotka kykenevät tuottamaan kuvioita, joiden koko on enintään 45 nm;

Huom.:

3B001.f.2 kohtaan sisältyvät:

—

Pehmytkuviointivälineet

—

Kuumapakotusvälineet

—

Nanomuokkauskuviointivälineet

—

Step and flash -kuviointi (S-FIL) -välineet

3.

Laitteet, jotka on erityisesti suunniteltu maskien valmistukseen ja joilla on kaikki seuraavat ominaisuudet:

a.

Poikkeutettu ja fokusoitu elektronisuihku, ionisuihku tai „laser” säde; ja

b.

Niillä on jokin seuraavista ominaisuuksista:

1.

Puoliarvoleveyden (FWHM) pistekoko pienempi kuin 65 m ja kuvan sijoitus alle 17 nm (keskiarvo + 3 sigmaa); tai

2.

Ei käytössä;

3.

Toisen kerroksen kohdistusvirhe alle 23 nm (keskiarvo + 3 sigmaa) maskissa;

4.

Laitteet, jotka on suunniteltu laitteiden prosessointiin käyttäen suoria kirjoitusjärjestelmiä (direct writing methods), joilla on kaikki seuraavat ominaisuudet:

a.

Poikkeutettu ja fokusoitu elektronisuihku; ja

b.

Niillä on jokin seuraavista ominaisuuksista:

1.

Suihkun vähimmäiskoko enintään 15 nm; tai

2.

Kohdistusvirhe alle 27 nm (keskiarvo + 3 sigmaa);”
Top