Access to European Union law
<a href="https://eur-lex.europa.eu/content/help/eurlex-content/experimental-features.html" target="_blank">More about the experimental features corner</a>
Choose the experimental features you want to try
EUR-Lex
Access to European Union law

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

You are here
Use quotation marks to search for an "exact phrase". Append an asterisk (*) to a search term to find variations of it (transp*, 32019R*). Use a question mark (?) instead of a single character in your search term to find variations of it (ca?e finds case, cane, care).
Search tips
Need more search options? Use the Advanced search

Document 32019R2199R(01)

    2019 m. spalio 17 d. Komisijos deleguotojo reglamento (ES) 2019/2199, kuriuo iš dalies keičiamas Tarybos reglamentas (EB) Nr. 428/2009, nustatantis Bendrijos dvejopo naudojimo prekių eksporto, persiuntimo, susijusių tarpininkavimo paslaugų ir tranzito kontrolės režimą, klaidų ištaisymas (Europos Sąjungos oficialusis leidinys L 338, 2019 m. gruodžio 30 d.)

    OL L 51, 2020 2 25, p. 17–17 (ET)
    OL L 51, 2020 2 25, p. 13–13 (BG, ES, CS, DA, EL, IT, LV, LT, MT, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)
    OL L 51, 2020 2 25, p. 14–14 (DE, EN, FR, HR, HU, NL)

    ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2019/2199/corrigendum/2020-02-25/oj

    25.2.2020   

    LT

    Europos Sąjungos oficialusis leidinys

    L 51/13

    2019 m. spalio 17 d. Komisijos deleguotojo reglamento (ES) 2019/2199, kuriuo iš dalies keičiamas Tarybos reglamentas (EB) Nr. 428/2009, nustatantis Bendrijos dvejopo naudojimo prekių eksporto, persiuntimo, susijusių tarpininkavimo paslaugų ir tranzito kontrolės režimą, klaidų ištaisymas

    ( Europos Sąjungos oficialusis leidinys L 338, 2019 m. gruodžio 30 d. )

    129 puslapis, f punktas pakeičiamas taip:

    „f.

    litografijos įranga, išvardyta toliau:

    1.

    žingsninė tapdinimo ir eksponavimo (tiesiogiai tapdinanti ir eksponuojanti plokštelėje) arba žingsninė multiplikavimo įranga, skirta plokštelėms apdoroti fotooptiniais ar rentgeno spinduliuotės metodais, turinti bet kurią iš šių charakteristikų:

    a.

    šviesos šaltinio bangos ilgį, mažesnį kaip 193 nm, arba

    b.

    galinti sukurti paveikslus, kurių „mažiausias išskiriamo topologinio elemento matmuo“ (MRF) lygus 45 nm arba mažesnis;

    Techninė pastaba „Mažiausias išskiriamo topologinio elemento matmuo“ (MRF) yra apskaičiuojamas pagal formulę: Image 1 jeigu K faktorius = 0,35;

    2.

    litografinės spaudos įranga, kuria galima sukurti 45 nm ar mažesnes savybes;

    Pastaba. 3B001.f.2 apima:

    —

    mikrokontaktinius spaudos įtaisus;

    —

    karštos reljefinės spaudos įrankius;

    —

    nanoįspaudimo litografijos įrankius;

    —

    žingsninės („step and flash“) litografijos (S-FIL) įrankius;

    3.

    įranga, specialiai suprojektuota kaukėms, turinti visas šias charakteristikas:

    a.

    naudojanti kreipiamąjį sufokusuotą elektronų pluoštą, jonų pluoštą ar „lazerio“ pluoštą ir

    b.

    turinti bet kurią iš šių charakteristikų:

    1.

    spektrinio juostos puspločio (FWHM) dėmės matmenis, mažesnius nei 65 μm ir vaizdo įkėlimą, mažesnį nei 17 nm (vidutinė vertė + 3 sigma), arba

    2.

    nenaudojama;

    3.

    mažesnę nei 23 nm (vidutinė vertė + 3 sigma) antrojo sluoksnio kaukės tapatinimo paklaidą;

    4.

    įranga, suprojektuota įtaisams apdoroti naudojant tiesioginio įrašymo metodus, turinti visas šias charakteristikas:

    a.

    kreipiamąjį sufokusuotą elektronų pluoštą ir

    b.

    turinti bet kurią iš šių charakteristikų:

    1.

    15 nm arba mažesnį minimalų pluošto dydį arba

    2.

    mažesnę nei 27 nm (vidutinė vertė + 3 sigma) kaukės tapatinimo paklaidą;“
    Top