Popravek Delegirane uredbe Komisije (EU) 2018/1922 z dne 10. oktobra 2018 o spremembi Uredbe Sveta (ES) št. 428/2009 o vzpostavitvi režima Skupnosti za nadzor izvoza, prenosa, posredovanja in tranzita blaga z dvojno rabo

( Uradni list Evropske unije L 319 z dne 14. decembra 2018 )

Stran 129, oznaka 3B001.f, točki 3 in 4, popravi se poravnava točk:

besedilo:

„3.

oprema, izdelana posebej za obdelavo naprav za izdelavo mask, ki ima obe naslednji značilnosti:

a.	elektronski žarek z odklonjenim fokusom, ionski ali ‚laserski‘ žarek in

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.	polovična vrednost širine (FWHM) točke, manjša od 65 nm in postavitev slike, manjša od 17 nm (srednja vrednost + 3 sigme), ali

2.	se ne uporablja;

3.	napaka pri prekrivanju druge plasti, manjša od 23 nm (srednja vrednost + 3 sigme) na maski;

oprema, ki je zasnovana za obdelavo s pomočjo neposrednih metod zapisa in ima obe naslednji značilnosti:

a.	elektronski žarek z odklonjenim fokusom in

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.	najmanjša širina žarka je enaka ali manjša od 15 nm ali

2.	napaka pri prekrivanju plasti, manjša od 27 nm (srednja vrednost + 3 sigme);“

se glasi:

„3.

oprema, izdelana posebej za obdelavo naprav za izdelavo mask, ki ima obe naslednji značilnosti:

a.	elektronski žarek z odklonjenim fokusom, ionski ali ‚laserski‘ žarek in

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.	polovična vrednost širine (FWHM) točke, manjša od 65 nm in postavitev slike, manjša od 17 nm (srednja vrednost + 3 sigme), ali

2.	se ne uporablja;

3.	napaka pri prekrivanju druge plasti, manjša od 23 nm (srednja vrednost + 3 sigme) na maski;

oprema, ki je zasnovana za obdelavo s pomočjo neposrednih metod zapisa in ima obe naslednji značilnosti:

a.	elektronski žarek z odklonjenim fokusom in

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.	najmanjša širina žarka je enaka ali manjša od 15 nm ali

2.	napaka pri prekrivanju plasti, manjša od 27 nm (srednja vrednost + 3 sigme);“.