Choose the experimental features you want to try

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

Document 32018R1922R(04)

Popravek Delegirane uredbe Komisije (EU) 2018/1922 z dne 10. oktobra 2018 o spremembi Uredbe Sveta (ES) št. 428/2009 o vzpostavitvi režima Skupnosti za nadzor izvoza, prenosa, posredovanja in tranzita blaga z dvojno rabo (UL L 319, 14.12.2018)

UL L 105, 16.4.2019, p. 67–67 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2018/1922/corrigendum/2019-04-16/oj

16.4.2019   

SL

Uradni list Evropske unije

L 105/67


Popravek Delegirane uredbe Komisije (EU) 2018/1922 z dne 10. oktobra 2018 o spremembi Uredbe Sveta (ES) št. 428/2009 o vzpostavitvi režima Skupnosti za nadzor izvoza, prenosa, posredovanja in tranzita blaga z dvojno rabo

( Uradni list Evropske unije L 319 z dne 14. decembra 2018 )

Stran 129, oznaka 3B001.f, točki 3 in 4, popravi se poravnava točk:

besedilo:

„3.

oprema, izdelana posebej za obdelavo naprav za izdelavo mask, ki ima obe naslednji značilnosti:

a.

elektronski žarek z odklonjenim fokusom, ionski ali ‚laserski‘ žarek in

b.

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.

polovična vrednost širine (FWHM) točke, manjša od 65 nm in postavitev slike, manjša od 17 nm (srednja vrednost + 3 sigme), ali

2.

se ne uporablja;

3.

napaka pri prekrivanju druge plasti, manjša od 23 nm (srednja vrednost + 3 sigme) na maski;

4.

oprema, ki je zasnovana za obdelavo s pomočjo neposrednih metod zapisa in ima obe naslednji značilnosti:

a.

elektronski žarek z odklonjenim fokusom in

b.

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.

najmanjša širina žarka je enaka ali manjša od 15 nm ali

2.

napaka pri prekrivanju plasti, manjša od 27 nm (srednja vrednost + 3 sigme);“

se glasi:

„3.

oprema, izdelana posebej za obdelavo naprav za izdelavo mask, ki ima obe naslednji značilnosti:

a.

elektronski žarek z odklonjenim fokusom, ionski ali ‚laserski‘ žarek in

b.

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.

polovična vrednost širine (FWHM) točke, manjša od 65 nm in postavitev slike, manjša od 17 nm (srednja vrednost + 3 sigme), ali

2.

se ne uporablja;

3.

napaka pri prekrivanju druge plasti, manjša od 23 nm (srednja vrednost + 3 sigme) na maski;

4.

oprema, ki je zasnovana za obdelavo s pomočjo neposrednih metod zapisa in ima obe naslednji značilnosti:

a.

elektronski žarek z odklonjenim fokusom in

b.

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.

najmanjša širina žarka je enaka ali manjša od 15 nm ali

2.

napaka pri prekrivanju plasti, manjša od 27 nm (srednja vrednost + 3 sigme);“.


Top