Access to European Union law
<a href="https://eur-lex.europa.eu/content/help/eurlex-content/experimental-features.html" target="_blank">More about the experimental features corner</a>
Choose the experimental features you want to try
EUR-Lex
Access to European Union law

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

You are here
Use quotation marks to search for an "exact phrase". Append an asterisk (*) to a search term to find variations of it (transp*, 32019R*). Use a question mark (?) instead of a single character in your search term to find variations of it (ca?e finds case, cane, care).
Search tips
Need more search options? Use the Advanced search

Document 32019R2199R(01)

Popravek Delegirane uredbe Komisije (EU) 2019/2199 z dne 17. oktobra 2019 o spremembi Uredbe Sveta (ES) št. 428/2009 o vzpostavitvi režima Skupnosti za nadzor izvoza, prenosa, posredovanja in tranzita blaga z dvojno rabo (Uradni list Evropske unije L 338 z dne 30. decembra 2019)

UL L 51, 25.2.2020, p. 17–17 (ET)
UL L 51, 25.2.2020, p. 13–13 (BG, ES, CS, DA, EL, IT, LV, LT, MT, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)
UL L 51, 25.2.2020, p. 14–14 (DE, EN, FR, HR, HU, NL)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2019/2199/corrigendum/2020-02-25/oj

Date of document:
25/02/2020; datum objave
Author:
Evropska komisija
Form:
Delegirana uredba Popravek
Link
Link
Link
Select all documents mentioning this document
Modifies:
Relation Act Comment Subdivision concerned From To
Corrigendum to 32019R2199
Link

25.2.2020   

SL

Uradni list Evropske unije

L 51/13

Popravek Delegirane uredbe Komisije (EU) 2019/2199 z dne 17. oktobra 2019 o spremembi Uredbe Sveta (ES) št. 428/2009 o vzpostavitvi režima Skupnosti za nadzor izvoza, prenosa, posredovanja in tranzita blaga z dvojno rabo

( Uradni list Evropske unije L 338 z dne 30. decembra 2019 )

Stran 129, točka (f) se glasi:

„f.

litografska oprema:

1.

oprema za pozicioniranje in izpostavljanje rezin po sistemu korak in ponovi (neposredni korak na rezini) ali korak in skeniraj (skener) pri obdelavi rezin z uporabo fotooptične metode ali metode z rentgenskimi žarki in ki ima katero koli od naslednjih značilnosti:

a.

vir svetlobe valovne dolžine manj kakor 193 nm ali

b.

zmožnost proizvajanja oblike z ‚minimalno razločljivo potezo‘ (MRF) 45 nm ali manj;

Tehnična opomba:

‚minimalna razločljiva poteza‘ (MRF) se izračuna po naslednji enačbi:

Image 1

pri čemer je faktor K = 0,35.

2.

tiskarska litografska oprema, s katero se lahko tiska podobe z največ 45 nm;

Opomba:točka 3B001(f)(2) vključuje:

—

mikrokontaktno tiskarsko orodje,

—

vroča reliefna orodja,

—

nanotiskarska litografska orodja,

—

tiskarska litografska orodja „step and flash“ (S-FIL).

3.

oprema, izdelana posebej za obdelavo naprav za izdelavo mask, ki ima obe naslednji značilnosti:

a.

elektronski žarek z odklonjenim fokusom, ionski ali „laserski“ žarek in

b.

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.

polovična vrednost širine (FWHM) točke, manjša od 65 nm in postavitev slike, manjša od 17 nm (srednja vrednost + 3 sigme), ali

2.

se ne uporablja;

3.

napaka pri prekrivanju druge plasti, manjša od 23 nm (srednja vrednost + 3 sigme) na maski;

4.

oprema, ki je zasnovana za obdelavo s pomočjo neposrednih metod zapisa in ima obe naslednji značilnosti:

a.

elektronski žarek z odklonjenim fokusom in

b.

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.

najmanjša širina žarka je enaka ali manjša od 15 nm ali

2.

napaka pri prekrivanju plasti, manjša od 27 nm (srednja vrednost + 3 sigme);“.
Top