Choose the experimental features you want to try

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

Document 32018R1922R(04)

Korigendum k delegovanému nariadeniu Komisie (EÚ) 2018/1922 z 10. októbra 2018, ktorým sa mení nariadenie Rady (ES) č. 428/2009, ktorým sa stanovuje režim Spoločenstva na kontrolu vývozov, prepravy, sprostredkovania a tranzitu položiek s dvojakým použitím (Ú. v. EÚ L 319, 14.12.2018)

Ú. v. EÚ L 105, 16.4.2019, p. 67–67 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2018/1922/corrigendum/2019-04-16/oj

16.4.2019   

SK

Úradný vestník Európskej únie

L 105/67


Korigendum k delegovanému nariadeniu Komisie (EÚ) 2018/1922 z 10. októbra 2018, ktorým sa mení nariadenie Rady (ES) č. 428/2009, ktorým sa stanovuje režim Spoločenstva na kontrolu vývozov, prepravy, sprostredkovania a tranzitu položiek s dvojakým použitím

( Úradný vestník Európskej únie L 319 zo 14. decembra 2018 )

Na strane 129 v položke 3B001.f. bodoch 3 a 4 sa opravuje zarovnanie bodov.

namiesto:

„3.

Zariadenia osobitne navrhnuté na vytváranie masiek, ktoré majú všetky tieto vlastnosti:

a.

vychýlený zaostrený elektrónový lúč, iónový lúč alebo „laserový“ lúč a

b.

majúce niektorú z týchto vlastností:

1

veľkosť bodu s plnou šírkou v polovici maxima (FWHM) menej ako 65 nm a umiestnenie obrazca menšieho ako 17 nm (stredná hodnota + 3 sigma), alebo

2.

nepoužíva sa;

3.

chyba prekrytia druhej vrstvy menej ako 23 nm (stredná hodnota + 3 sigma) na maske;

4.

zariadenia navrhnuté na spracovanie zariadení s použitím priamym zapisovacích metód, ktoré majú všetky tieto vlastnosti:

a.

vychýlený zaostrený elektrónový lúč a

b.

majúce niektorú z týchto vlastností:

1.

minimálny rozmer lúča 15 nm alebo menší, alebo

2.

chyba prekrytia menej ako 27 nm (stredná hodnota + 3 sigma);“

má byť:

„3.

Zariadenia osobitne navrhnuté na vytváranie masiek, ktoré majú všetky tieto vlastnosti:

a.

vychýlený zaostrený elektrónový lúč, iónový lúč alebo „laserový“ lúč a

b.

majúce niektorú z týchto vlastností:

1

veľkosť bodu s plnou šírkou v polovici maxima (FWHM) menej ako 65 nm a umiestnenie obrazca menšieho ako 17 nm (stredná hodnota + 3 sigma), alebo

2.

nepoužíva sa;

3.

chyba prekrytia druhej vrstvy menej ako 23 nm (stredná hodnota + 3 sigma) na maske;

4.

zariadenia navrhnuté na spracovanie zariadení s použitím priamym zapisovacích metód, ktoré majú všetky tieto vlastnosti:

a.

vychýlený zaostrený elektrónový lúč a

b.

majúce niektorú z týchto vlastností:

1.

minimálny rozmer lúča 15 nm alebo menší, alebo

2.

chyba prekrytia menej ako 27 nm (stredná hodnota + 3 sigma);“


Top