16.4.2019   

LT

Europos Sąjungos oficialusis leidinys

L 105/67


2018 m. spalio 10 d. Komisijos deleguotojo reglamento (ES) 2018/1922, kuriuo iš dalies keičiamas Tarybos reglamentas (EB) Nr. 428/2009, nustatantis Bendrijos dvejopo naudojimo prekių eksporto, persiuntimo, susijusių tarpininkavimo paslaugų ir tranzito kontrolės režimą, klaidų ištaisymas

( Europos Sąjungos oficialusis leidinys L 319, 2018 m. gruodžio 14 d. )

129 puslapis, 3B001.f. 3 ir 4 punktai: taisomas punktų išdėstymas.

yra:

„3.

įranga, specialiai suprojektuota kaukėms, turinti visas šias charakteristikas:

a.

naudojanti kreipiamąjį sufokusuotą elektronų pluoštą, jonų pluoštą ar „lazerio“ pluoštą ir

b.

turinti bet kurią iš šių charakteristikų:

1.

spektrinio juostos puspločio (FWHM) dėmės matmenis, mažesnius nei 65 μm ir vaizdo įkėlimą, mažesnį nei 17 nm (vidutinė vertė + 3 sigma), arba

2.

nenaudojama;

3.

mažesnę nei 23 nm (vidutinė vertė + 3 sigma) antrojo sluoksnio kaukės tapatinimo paklaidą;

4.

įranga, suprojektuota įtaisams apdoroti naudojant tiesioginio įrašymo metodus, turinti visas šias charakteristikas:

a.

kreipiamąjį sufokusuotą elektronų pluoštą ir

b.

turinti bet kurią iš šių charakteristikų:

1.

15 nm arba mažesnį minimalų pluošto dydį arba

2.

mažesnę nei 27 nm (vidutinė vertė + 3 sigma) kaukės tapatinimo paklaidą;“

turi būti:

„3.

įranga, specialiai suprojektuota kaukėms, turinti visas šias charakteristikas:

a.

naudojanti kreipiamąjį sufokusuotą elektronų pluoštą, jonų pluoštą ar „lazerio“ pluoštą ir

b.

turinti bet kurią iš šių charakteristikų:

1.

spektrinio juostos puspločio (FWHM) dėmės matmenis, mažesnius nei 65 μm ir vaizdo įkėlimą, mažesnį nei 17 nm (vidutinė vertė + 3 sigma), arba

2.

nenaudojama;

3.

mažesnę nei 23 nm (vidutinė vertė + 3 sigma) antrojo sluoksnio kaukės tapatinimo paklaidą;

4.

įranga, suprojektuota įtaisams apdoroti naudojant tiesioginio įrašymo metodus, turinti visas šias charakteristikas:

a.

kreipiamąjį sufokusuotą elektronų pluoštą ir

b.

turinti bet kurią iš šių charakteristikų:

1.

15 nm arba mažesnį minimalų pluošto dydį arba

2.

mažesnę nei 27 nm (vidutinė vertė + 3 sigma) kaukės tapatinimo paklaidą;“