Ispravak Delegirane uredbe Komisije (EU) 2022/1 оd 20. listopada 2021. o izmjeni Uredbe (EU) 2021/821 Europskog parlamenta i Vijeća u pogledu popisa robe s dvojnom namjenom

( Službeni list Europske unije L 3 od 6. siječnja 2022 .)

Na stranici 142., u Prilogu, točka 3B001.f mijenja se kako slijedi:

„f.

litografska oprema kako slijedi:

oprema za poravnavanje, izlaganje i ponavljanje (izravan korak na poluvodičkoj pločici) ili oprema za skakanje i pretraživanje (pretraživač) za obradu poluvodičke pločice s pomoću fotooptičke ili metode X-zraka, koja ima bilo koju od sljedećih značajki:

a.	valna duljina svjetlosnog izvora kraća od 193 nm; ili

b.	sposobnost proizvodnje oblika s ‚minimalnom veličinom razlučive značajke’ (MRF) od 45 nm ili manje; Tehnička napomena: ‚Minimalna veličina razlučive značajke’ (Minimum Resolvable Feature – MRF) izračunava se s pomoću sljedeće formule: pri čemu je faktor K = 0,35

litografska oprema za tiskanje s mogućnošću izrade detalja od 45 nm ili manjih;

Napomena:

3B001.f.2. uključuje:

—	mikrokontaktne alate za tiskanje,

—	alate za vruće utiskivanje,

—	tiskarske litografske alate nanopreciznosti

—	„step and flash” tiskarske litografske alate (S-FIL).

oprema posebno namijenjena izradi maski koja ima sve sljedeće značajke:

a.	odstupanje fokusiranog elektronskog snopa, ionskog snopa ili „laserskog” snopa i

nešto od sljedećega:

1.	veličina točke FWHM (puna širina na polovini visine) manja od 65 nm i pozicioniranje slike manje od 17 nm (srednja vrijednost +3 sigme); ili

2.	ne upotrebljava se;

3.	pogreška preklapanja drugog sloja manja od 23 nm (srednja vrijednost + 3 sigme) na maski;

oprema namijenjena obradi uređaja s pomoću metoda izravnog zapisa, koja ima sve sljedeće značajke:

a.	odstupanje fokusiranog elektronskog snopa i

nešto od sljedećega:

1.	najmanja veličina snopa od 15 nm ili manja; ili

2.	pogreška preklapanja manja od 27 nm (srednja vrijednost + 3 sigme);”.