Choose the experimental features you want to try

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

Document 32018R1922R(04)

Ispravak Delegirane uredbe Komisije (EU) 2018/1922 оd 10. listopada 2018. o izmjeni Uredbe Vijeća (EZ) br. 428/2009 o uspostavljanju režima Zajednice za kontrolu izvoza, prijenosa, brokeringa i provoza robe s dvojnom namjenom (SL L 319, 14.12.2018.)

SL L 105, 16.4.2019, p. 67–67 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2018/1922/corrigendum/2019-04-16/oj

16.4.2019   

HR

Službeni list Europske unije

L 105/67


Ispravak Delegirane uredbe Komisije (EU) 2018/1922 оd 10. listopada 2018. o izmjeni Uredbe Vijeća (EZ) br. 428/2009 o uspostavljanju režima Zajednice za kontrolu izvoza, prijenosa, brokeringa i provoza robe s dvojnom namjenom

( Službeni list Europske unije L 319 od 14. prosinca 2018. )

Na stranici 129., pod stavkom 3B001.f., točke 3. i 4.: ispravljeno je poravnavanje točaka:

umjesto:

„3.

oprema posebno namijenjena izradi maski koja ima sve sljedeće značajke:

a.

odstupanje fokusiranog elektronskog snopa, ionskog snopa ili „laserskog” snopa i

b.

ima bilo koju od sljedećih značajki:

1.

veličina točke FWHM (puna širina na polovini visine) manja od 65 nm i pozicioniranje slike manje od 17 nm (srednja vrijednost + 3 sigme); ili

2.

ne upotrebljava se;

3.

pogreška preklapanja drugog sloja manja od 23 nm (srednja vrijednost + 3 sigme) na maski;

4.

oprema namijenjena obradi uređaja s pomoću metoda izravnog zapisa, koja ima sve sljedeće značajke:

a.

odstupanje fokusiranog elektronskog snopa i

b.

ima bilo koju od sljedećih značajki:

1.

najmanja veličina snopa od 15 nm ili manja; ili

2.

pogreška preklapanja manja od 27 nm (srednja vrijednost + 3 sigme);”;

treba stajati:

„3.

oprema posebno namijenjena izradi maski koja ima sve sljedeće značajke:

a.

odstupanje fokusiranog elektronskog snopa, ionskog snopa ili „laserskog” snopa i

b.

ima bilo koju od sljedećih značajki:

1.

veličina točke FWHM (puna širina na polovini visine) manja od 65 nm i pozicioniranje slike manje od 17 nm (srednja vrijednost + 3 sigme); ili

2.

ne upotrebljava se;

3.

pogreška preklapanja drugog sloja manja od 23 nm (srednja vrijednost + 3 sigme) na maski;

4.

oprema namijenjena obradi uređaja s pomoću metoda izravnog zapisa, koja ima sve sljedeće značajke:

a.

odstupanje fokusiranog elektronskog snopa i

b.

ima bilo koju od sljedećih značajki:

1.

najmanja veličina snopa od 15 nm ili manja; ili

2.

pogreška preklapanja manja od 27 nm (srednja vrijednost + 3 sigme);”.


Top