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( 1 ) JO N} C 144 DU 15 . 6 . 1981 , P . 69 .

( 2 ) JO N} C 353 DU 31 . 12 . 1980 , P . 4 .

( 3 ) JO N} C 231 DU 13 . 9 . 1979 , P . 1 .

REGLEMENT ( CEE ) N} 3744/81 DU CONSEIL DU 7 DECEMBRE 1981 CONCERNANT DES ACTIONS COMMUNAUTAIRES DANS LE DOMAINE DE LA TECHNOLOGIE MICRO-ELECTRONIQUE

LE CONSEIL DES COMMUNAUTES EUROPEENNES ,

VU LE TRAITE INSTITUANT LA COMMUNAUTE ECONOMIQUE EUROPEENNE , ET NOTAMMENT SON ARTICLE 235 ,

VU LA PROPOSITION DE LA COMMISSION ,

VU L'AVIS DE L'ASSEMBLEE ( 1 ) ,

VU L'AVIS DU COMITE ECONOMIQUE ET SOCIAL ( 2 ) ,

CONSIDERANT QUE LA TECHNOLOGIE MICRO-ELECTRONIQUE EST ESSENTIELLE AU DEVELOPPEMENT ET A LA COMPETITIVITE DE L'INDUSTRIE DE LA COMMUNAUTE DANS SON ENSEMBLE A UN MOMENT OU L'ECONOMIE EUROPEENNE DOIT DE PLUS EN PLUS PRODUIRE DES BIENS ET DES SERVICES A HAUTE VALEUR AJOUTEE ; QUE , TOUTEFOIS , L'IMPORTANCE ET LA NATURE DE L'EFFORT NECESSAIRE POUR REPONDRE A CELUI DE SES COMPETITEURS D'ICI A 1985 REQUIERENT DES MESURES A L'ECHELON COMMUNAUTAIRE , Y COMPRIS UNE AIDE FINANCIERE PUBLIQUE POUR SOUTENIR LA RECHERCHE ET LE DEVELOPPEMENT ENVISAGES EN COOPERATION PAR LES INDUSTRIES ; QUE LA RESOLUTION DU CONSEIL DU 11 SEPTEMBRE 1979 ( 3 ) INVITE LA COMMISSION A EXAMINER LES POSSIBILITES ET LES MODALITES DE LA COORDINATION D'ACTIONS NATIONALES DANS CE SECTEUR ET A PROPOSER AU CONSEIL DES PROJETS CONCRETS AU NIVEAU DE LA COMMUNAUTE EN VUE DE PROMOUVOIR DES TECHNOLOGIES MICRO-ELECTRONIQUES ;

CONSIDERANT QUE L'AIDE ACCORDEE DEVRAIT AVOIR POUR OBJECTIF DE PROMOUVOIR UN MARCHE ET UNE SITUATION CONCURRENTIELLE EQUILIBRES EN EUROPE ET COMPTE TENU DES PRINCIPES CONTENUS DANS LE PROGRAMME QUADRIENNAL DE DEVELOPPEMENT DE L'INFORMATIQUE DANS LA COMMUNAUTE , ET NOTAMMENT DES PRINCIPES DE LA PROPRIETE DES RESULTATS DES PROJETS AYANT BENEFICIE D'UN SOUTIEN ET DE L'ACCES A CES RESULTATS , ET SOULIGNANT EN PARTICULIER L'IMPORTANCE D'UNE DIFFUSION APPROPRIEE DES PRODUITS ET DES AUTRES RESULTATS ISSUS DE CES PROJETS ,

A ARRETE LE PRESENT REGLEMENT :

ARTICLE PREMIER

AFIN D'ATTEINDRE LES OBJECTIFS DE LA COMMUNAUTE DANS LE DOMAINE DE LA TECHNOLOGIE MICRO-ELECTRONIQUE , LA COORDINATION AU NIVEAU COMMUNAUTAIRE DES ACTIVITES ENTREPRISES DANS LES ETATS MEMBRES DANS CE DOMAINE ET LA MISE EN OEUVRE DE PROJETS COMMUNS DESTINES A LES COMPLETER ET A LES RENFORCER SONT ASSUREES DANS LES CONDITIONS PREVUES PAR LE PRESENT REGLEMENT .

POUR L'OCTROI DU SOUTIEN FINANCIER NATIONAL AUX PROJETS PORTANT SUR LES SECTEURS DEFINIS A L'ARTICLE 3 , SERONT NOTAMMENT ENCOURAGES PAR LES ETATS MEMBRES LES PROJETS DONT LA MISE EN OEUVRE IMPLIQUE UNE PARTICIPATION IMPORTANTE D'ORGANISMES DE DEUX OU PLUSIEURS PAYS DE LA COMMUNAUTE , LES AUTRES CONDITIONS ETANT PAR AILLEURS EGALES .

TITRE PREMIER

INFORMATION ET CONSULTATION

ARTICLE 2

UN SYSTEME D'INFORMATION ET DE CONSULTATION RELATIF AUX INITIATIVES DESTINEES A PROMOUVOIR LA DIFFUSION ET LE DEVELOPPEMENT DE LA TECHNOLOGIE MICRO-ELECTRONIQUE ET DE SES APPLICATIONS EST ETABLI ENTRE LES ETATS MEMBRES ET LA COMMISSION .

ARTICLE 3

1 . AFIN D'ASSURER L'EFFICACITE DES CONSULTATIONS PREVUES PAR LE PRESENT REGLEMENT , LES ETATS MEMBRES , INDEPENDAMMENT DE LEURS OBLIGATIONS AU TITRE DES REGLES DE LA CONCURRENCE , FOURNISSENT A LA COMMISSION , D'AVANCE ET SANS DELAI , DE LEUR PROPRE INITIATIVE OU A LA DEMANDE DE CELLE-CI , TOUTE INFORMATION A JOUR ET UTILE , DE CARACTERE SCIENTIFIQUE , ECONOMIQUE ET FINANCIER CONCERNANT TOUTE ACTION RELEVANT DE LEUR AUTORITE , EN COURS A LA DATE D'ENTREE EN VIGUEUR DU PRESENT REGLEMENT OU ENVISAGEE APRES CETTE DATE , VISANT :

A ) A PROMOUVOIR DES ACTIVITES DE RECHERCHE INDUSTRIELLE APPLIQUEE ET DE DEVELOPPEMENT CONCERNANT LES EQUIPEMENTS , PROCEDES , INSTRUMENTS ET TECHNIQUES TANT EN LOGICIEL QU'EN MATERIEL , DESTINEES A LA CONCEPTION , A LA PRODUCTION INDUSTRIELLE ET AUX TESTS DE CIRCUITS INTEGRES AVANCES ;

B ) A LA DIFFUSION DES CONNAISSANCES DE BASE ET A LA FORMATION ET L'EDUCATION DES CADRES ET PERSONNEL SPECIALISES DANS LA CONCEPTION , L'USAGE ET LE TEST DE CIRCUITS INTEGRES AVANCES ;

C ) A ENCOURAGER L'ETABLISSEMENT DANS LA COMMUNAUTE D'UNE INDUSTRIE APTE A CONCEVOIR ET PRODUIRE LES EQUIPEMENTS , MATERIAUX ET TECHNIQUES EMPLOYES POUR LA FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES AVANCES .

ILS FOURNISSENT EGALEMENT A LA COMMISSION UNE APPRECIATION DES RESULTATS DE TOUTES CES ACTIONS .

LES INFORMATIONS CONFIDENTIELLES DES FIRMES CONCERNANT DES PROJETS SPECIFIQUES NE SONT PAS COUVERTES PAR LE PRESENT ARTICLE .

2 . LA COMMISSION VEILLE A CE QUE LES INFORMATIONS RELATIVES AUX ACTIONS VISEES AU PARAGRAPHE 1 SOIENT COMMUNIQUEES AUX ETAT MEMBRES .

3 . LE NIVEAU DE DETAIL DES INFORMATIONS QUI DOIVENT ETRE FOURNIES A LA COMMISSION , DE MANIERE CONFIDENTIELLE , AUX ORGANISMES GOUVERNEMENTAUX DES ETATS MEMBRES OU AU PUBLIC AINSI QUE LES PROCEDURES ET MESURES SELON LESQUELLES CES INFORMATIONS SONT RENDUES DISPONIBLES , SONT FIXES SELON LA PROCEDURE PREVUE A L'ARTICLE 8 .

TITRE II

PROJETS COMMUNS

ARTICLE 4

1 . LES PROJETS CLES DE RECHERCHE ET DE DEVELOPPEMENT CI-APRES , QUI PORTENT DIRECTEMENT SUR LES SECTEURS DEFINIS A L'ARTICLE 3 ET SONT CONSIDERES COMME HAUTEMENT PRIORITAIRES , BENEFICIENT D'UNE AIDE COMMUNAUTAIRE DANS LES CONDITIONS PREVUES A L'ARTICLE 5 :

I . REPETITEURS SUR TRANCHE ;

II . FAISCEAU ELECTRONIQUE POUR ECRITURE DIRECTE SUR TRANCHE ;

III . GRAVURE ET DEPOT PAR PLASMA ;

IV . EQUIPEMENT D'ESSAI ;

V . CONCEPTION ASSISTEE PAR ORDINATEUR ( CAO ) POUR CIRCUITS A TRES HAUTE INTEGRATION ( VLSI ) :

1 . ARCHITECTURE ;

2 . LANGAGE ET STRUCTURE DES DONNEES ;

3 . ESSAIS ;

4 . MODELISATION DES DISPOSITIFS .

2 . LES SPECIFICATIONS TECHNIQUES RELATIVES AUX PROJETS VISES AU PARAGRAPHE 1 FIGURENT EN ANNEXE .

3 . LA COMMISSION METTRA A JOUR , SI NECESSAIRE , LES SPECIFICATIONS TECHNIQUES SELON LA PROCEDURE PREVUE A L'ARTICLE 8 .

4 . DES LE DEBUT DE LA DEUXIEME ANNEE SUIVANT L'ENTREE EN VIGUEUR DU PRESENT REGLEMENT , LA LISTE FIGURANT AU PARAGRAPHE 1 POURRA FAIRE L'OBJET D'UNE REVISION SELON LA PROCEDURE A L'ARTICLE 8 , DANS LES LIMITES DES RESSOURCES DISPONIBLES . LA COMMISSION PEUT EGALEMENT , SI NECESSAIRE , PROPOSER AU CONSEIL LA REVISION DU REGLEMENT .

TITRE III

MODALITES DE FINANCEMENT

ARTICLE 5

1 . LA COMMUNAUTE EUROPEENNE APPORTE UN SOUTIEN FINANCIER AUX PROJETS VISES A L'ARTICLE 4 SOUS LA FORME DE SUBVENTIONS COUVRANT NORMALEMENT 30 % DU COUT DE LEUR EXECUTION , MAIS POUVANT ALLER JUSQU'A 50 % SUR BASE D'UNE DECISION PRISE SELON LA PROCEDURE PREVUE A L'ARTICLE 8 .

2 . LES CREDITS D'ENGAGEMENT NECESSAIRES AU SOUTIEN FINANCIER VISE AU PARAGRAPHE 1 S'ELEVENT A 40 MILLIONS D'ECUS . CE MONTANT SERA INSCRIT AU BUDGET DES COMMUNAUTES EUROPEENNES POUR 1982 .

3 . LES PROJETS SUSCEPTIBLES DE BENEFICIER D'UNE AIDE DOIVENT REPONDRE AUX CONDITIONS SUIVANTES :

- LEUR OBJET DOIT CORRESPONDRE AUX SPECIFICATIONS TECHNIQUES PRECISEES DANS L'ANNEXE ,

- LES PROJETS DOIVENT ETRE EXECUTES DANS LA COMMUNAUTE .

DE PLUS :

A ) POUR LES PROJETS VISES AUX POINTS I A IV DE L'ARTICLE 4 PARAGRAPHE 1 :

- LES DEMANDEURS DOIVENT ETRE DES FABRICANTS OU DES UTILISATEURS INDUSTRIELS ETABLIS DANS LA COMMUNAUTE ,

- UN NOMBRE SUFFISANT D'UTILISATEURS INDUSTRIELS SUFFISAMMENT QUALIFIES N'ETANT PAS TOUS ETABLIS DANS LE MEME ETAT MEMBRE ET N'AYANT PAS DE LIENS FINANCIERS AVEC LE OU LES FABRICANTS PARTICIPANT AU MEME PROJET DOIVENT AVOIR PROUVE LEUR INTERET A PARTICIPER AU PROJET EN Y CONTRIBUANT AVEC LEURS PROPRES RESSOURCES . CE NOMBRE EST FIXE PAR LA COMMISSION , POUR CHAQUE PROJET , CONFORMEMENT A LA PROCEDURE PREVUE A L'ARTICLE 8 ;

B ) POUR LES PROJETS VISES AU POINT V DE L'ARTICLE 4 PARAGRAPHE 1 :

- LES DEMANDEURS DOIVENT ETRE DES UNIVERSITES , DES CENTRES DE RECHERCHES OU DES FIRMES ETABLIES DANS LA COMMUNAUTE ,

- UN NOMBRE SUFFISANT DE FIRMES UTILISATRICES SUFFISAMMENT QUALIFIEES N'ETANT PAS TOUTES ETABLIES DANS LE MEME ETAT MEMBRE ET N'AYANT PAS DE LIENS FINANCIERS ENTRE ELLES DOIVENT AVOIR PROUVE LEUR INTERET A PARTICIPER AU PROJET EN Y CONTRIBUANT AVEC LEURS PROPRES RESSOURCES . CE NOMBRE EST FIXE PAR LA COMMISSION , POUR CHAQUE PROJET , CONFORMEMENT A LA PROCEDURE PREVUE A L'ARTICLE 8 .

EN APPLIQUANT LES CRITERES FIXES SOUS A ) ET B ) , DANS LE CAS OU LE MONTANT DES RESSOURCES NE PERMETTRAIT PAS QUE DEUX OU PLUSIEURS PROJETS ELIGIBLES DE MEME NATURE BENEFICIENT DU SOUTIEN , LA PRIORITE EST DONNEE AU PROJET CONCERNANT LE PLUS GRAND NOMBRE D'ETATS MEMBRES , TOUTES LES AUTRES CONDITIONS ETANT PAR AILLEURS EGALES .

4 . LORSQU'UN PROJET A ETE RETENU CONFORMEMENT AU PARAGRAPHE 3 SOUS A ) OU B ) , TOUTE FIRME SUFFISAMMENT QUALIFIEE ETABLIE DANS LA COMMUNAUTE PEUT PARTICIPER AU PROJET ET DEMANDER LE SOUTIEN FINANCIER CORRESPONDANT INDEPENDAMMENT DES LIENS FINANCIERS QU'ELLE POURRAIT AVOIR AVEC D'AUTRES PARTICIPANTS AU MEME PROJET .

5 . LES DEMANDES SONT ADRESSEES A LA COMMISSION PAR LES INTERESSES , EN REPONSE AUX AVIS D'APPELS D'OFFRE PUBLIES AU JOURNAL OFFICIEL DES COMMUNAUTES EUROPEENNES . CES DEMANDES DOIVENT COMPORTER LA PREUVE QU'ELLES SONT JUSTIFIEES AU SENS DU PARAGRAPHE 3 ET CONTENIR TOUTES AUTRES INFORMATIONS UTILES . LA COMMISSION PEUT EXIGER TOUS AUTRES DOCUMENTS OU INFORMATIONS COMPLEMENTAIRES NECESSAIRES POUR L'EXAMEN DE LA DEMANDE .

6 . LA COMMISSION STATUE SUR LES DEMANDES QUI LUI SONT ADRESSEES AVANT L'EXPIRATION D'UN DELAI DE QUATRE MOIS .

7 . SOUS RESERVE DES COMPETENCES QUE L'ARTICLE 206 BIS PARAGRAPHE 3 DU TRAITE ATTRIBUE A LA COUR DES COMPTES , LA COMMISSION PEUT EFFECTUER DES RECHERCHES SUR PLACE OU MENER UNE ENQUETE AU SUJET DES OPERATION FINANCEES , SUIVANT LES CONDITIONS SPECIFICIEES DANS LES CONTRATS REGLEMENTANT LE FINANCEMENT DES PROJETS .

TITRE IV

DISPOSITIONS GENERALES

ARTICLE 6

1 . IL EST INSTITUE UN COMITE CONSULTATIF DES ACTIONS DE PROMOTION DE LA TECHNOLOGIE MICRO-ELECTRONIQUE , CI-APRES DENOMME " COMITE " , COMPOSE DE REPRESENTANTS DES ETATS MEMBRES QUI PEUVENT SE FAIRE ASSISTER D'EXPERTS OU DE CONSEILLERS , SELON LA NATURE DES ACTIONS ENVISAGEES , ET PRESIDE PAR UN REPRESENTANT DE LA COMMISSION .

2 . LES TRAVAUX DU COMITE SONT CONFIDENTIELS .

3 . LE COMITE ETABLIT SON REGLEMENT INTERIEUR .

4 . LE SECRETARIAT DU COMITE EST ASSURE PAR LES SERVICES DE LA COMMISSION .

ARTICLE 7

LA COMMISSION PEUT CONSULTER LE COMITE SUR TOUTE QUESTION RELEVANT DU DOMAINE D'APPLICATION DU PRESENT REGLEMENT ET DOIT LE CONSULTER EN PARTICULIER SUR :

- LE NIVEAU DE DETAIL DES INFORMATIONS CONCERNANT LES ACTIVITES NATIONALES A FOURNIR DE MANIERE CONFIDENTIELLE A LA COMMISSION , CONFORMEMENT A L'ARTICLE 3 ;

- LE NIVEAU DE DETAIL DES INFORMATIONS A PUBLIER OU A COMMUNIQUER AUX ORGANISMES GOUVERNEMENTAUX DES ETATS MEMBRES ;

- LES MODALITES SELON LESQUELLES LES INFORMATIONS RECUEILLIES SONT MISES A LA DISPOSITION DES ETATS MEMBRES ;

- LA MISE A JOUR DES SPECIFICATIONS TECHNIQUES CONCERNANT LES PROJETS POUVANT BENEFICIER D'UN SOUTIEN FINANCIER ;

- LE NOMBRE MINIMAL DE SOCIETES REQUIS POUR QU'UN PROJET PUISSE BENEFICIER D'UN SOUTIEN FINANCIER ;

- L'APPRECIATION DES DEMANDES ET L'OCTROI DES SOUTIENS FINANCIERS .

ARTICLE 8

1 . DANS LE CAS OU IL EST FAIT APPEL A LA PROCEDURE DEFINIE AU PRESENT ARTICLE , LE COMITE EST SAISI PAR SON PRESIDENT , SOIT A L'INITIATIVE DE CELUI-CI , SOIT A LA DEMANDE DU REPRESENTANT D'UN ETAT MEMBRE .

2 . LE REPRESENTANT DE LA COMMISSION SOUMET UN PROJET DE MESURES A PRENDRE . LE COMITE EMET SON AVIS SUR LE PROJET DE DECISION DANS UN DELAI DE DEUX MOIS . IL SE PRONONCE A LA MAJORITE DE QUARANTE-CINQ VOIX . AU SEIN DU COMITE , LES VOIX DES ETATS MEMBRES SONT AFFECTEES DE LA PONDERATION PREVUE A L'ARTICLE 148 PARAGRAPHE 2 DU TRAITE . LE PRESIDENT NE PREND PAS PART AU VOTE .

3 . LA COMMISSION ADOPTE LE PROJET LORSQUE CELUI-CI EST CONFORME A L'AVIS DU COMITE . LORSQUE LE PROJET DE DECISION N'EST PAS CONFORME A CET AVIS OU EN L'ABSENCE D'UN TEL AVIS , LA COMMISSION PRESENTE SANS TARDER UNE PROPOSITION AU CONSEIL , SOUS FORME DE PROJET DE DECISION . LE CONSEIL STATUE A LA MAJORITE QUALIFIEE .

ARTICLE 9

LA COMMISSION TRANSMET CHAQUE ANNEE A L'ASSEMBLEE ET AU CONSEIL UN RAPPORT SUR L'EVOLUTION DES ACTIONS DANS LA COMMUNAUTE RELEVANT DU DOMAINE D'APPLICATION DU PRESENT REGLEMENT .

ARTICLE 10

LE PRESENT REGLEMENT ENTRE EN VIGUEUR LE 1ER JANVIER 1982 .

IL EST APPLICABLE JUSQU'AU 31 DECEMBRE 1985 .

LE PRESENT REGLEMENT EST OBLIGATOIRE DANS TOUS SES ELEMENTS ET DIRECTEMENT APPLICABLE DANS TOUT ETAT MEMBRE .

FAIT A BRUXELLES , LE 7 DECEMBRE 1981 .

PAR LE CONSEIL

LE PRESIDENT

CARRINGTON

ANNEXE

APERCU DES SPECIFICATIONS TECHNIQUES PROPRES AUX PROJETS ET AUX ACTIVITES POUR LESQUELLES UN SOUTIEN FINANCIER EST PROPOSE CONFORMEMENT AU REGLEMENT

I . PHOTOREPETITION SUR TRANCHE

TECHNOLOGIE DES PHOTOREPETEURS SUR TRANCHE

DES APPAREILS POSSEDANT LES CARACTERISTIQUES CI-APRES DEVRAIENT ETRE DISPONIBLES EN PRODUCTION D'ICI LA FIN DE 1982 :

- DIMENSION DE LA TRANCHE : JUSQU'A 6 POUCES

- DIMENSION DE LA PLAQUETTE : 1 CM2

- LARGEUR MINIMALE DES LIGNES : 1,25 UM SUR LA TRANCHE ( 1,1 UM SUR LA RESINE PHOTOSENSIBLE )

- ENREGISTREMENT AUTOMATIQUE : 0,1 UM

- DEBIT : 50 TRANCHES DE 4 POUCES A L'HEURE AVEC PLAQUETTES DE 1 CM2 , INSERTION DE 5 SCHEMAS TEMOINS ET CADRAGE AUTOMATIQUE AU NIVEAU DE CHAQUE MICROPLAQUETTE ; ADJONCTION D'UN CHARGEUR DE RETICULES .

LES DIFFERENTS TEMPS DOIVENT ETRE INDIQUES DANS LA DESCRIPTION DE L'EQUIPEMENT , Y COMPRIS LE TEMPS D'INSERTION DES SCHEMAS TEMOINS . LE CADRAGE DOIT ETRE PROGRAMMABLE ( PAR EXPOSITION , PAR BLOC , PAR TRANCHE ) . LA DIMENSION MINIMALE ADMISSIBLE DES REPERES D'ALIGNEMENT DOIT ETRE INDIQUEE .

IL SERAIT SOUHAITABLE QU'EN 1983 L'ON PUISSE DISPOSER D'APPAREILS AYANT UN DEBIT AMELIORE DE 50 TRANCHES DE 6 POUCES A L'HEURE ET UNE RESOLUTION AMELIOREE DE LA LARGEUR DE LIGNE MINIMALE DE 1,0 UM SUR TRANCHE .

II . FAISCEAU ELECTRONIQUE POUR L'ECRITURE DIRECTE SUR TRANCHE

MACHINE A FAISCEAU ELECTRONIQUE

CARACTERISTIQUES :

- DIMENSION DE LA TRANCHE : 6 POUCES

- DEBIT : 15 A 20 COUCHES PAR HEURE A 1 UM

- DIMENSION DE LA PLAQUETTE : PAS DE LIMITE

- DIMENSION MINIMALE DU CARACTERE OU DE L'IMAGE : 0,5 UM

- DIMENSION DES SPOTS : VARIABLE

- PRECISION DU CADRAGE : 0,1 UM

CET EQUIPEMENT DEVRAIT SE PRETER AUSSI A LA REALISATION DE RETICULES ET DE MASQUES . DES PROTOTYPES REMPLISSANT TOUTES CES CONDITIONS , A L'EXCEPTION DE LA VITESSE , DOIVENT ETRE DISPONIBLES EN 1983 .

III . ATTAQUE AU PLASMA

A . PERFORMANCES MINIMALES DES EQUIPEMENTS

- MATIERES A ATTAQUER

- SIO2 , DOPE ET NON DOPE

- SI3N4

- POLYSILICONE , DOPE ET NON DOPE

- SILICIDES ET POLYCIDES

- ALUMINIUM ET ALLIAGES

- AUTRES METAUX POUR CONTACTS ET INTERCONNEXIONS

- POLYMERES ORGANIQUES POUR RESINES OU LAQUES DE MASQUAGE ET METALLISATION MULTICOUCHES

- STRUCTURES A ATTAQUER AU COURS DE LA PRODUCTION

- PAS ( LIGNE PLUS ESPACEMENT ) : 3 UM

- LARGEUR MINIMALE DE LA LIGNE : 1 A 1,5 UM

- PRECISION : PLUS OU MOINS 10 % DE LA LARGEUR DE LIGNE POUR LES STRUCTURES CRITIQUES

- SELECTIVITE ET ANISOTROPIE

LA SELECTIVITE DOIT ETRE ADEQUATE ET IL DOIT ETRE POSSIBLE , POUR CHAQUE COUCHE , D'ATTAQUER DE MANIERE INTEGRALEMENT ANISOTROPE .

- DEBIT

LE DEBIT MINIMAL DOIT ETRE DE 50 TRANCHES / H DANS LE CAS DU PROCEDE LE PLUS LENT . CE PROCEDE SERA SANS DOUTE L'ATTAQUE SUR 0,8 UM DE SIO2 THERMIQUE AVEC UNE SELECTIVITE DE 10 : 1 POUR LE SI ET AVEC UN PAS DE 3 UM . L'ATTAQUE D'AUTRES COUCHES , PAR EXEMPLE 0,4 UM DE POLYSILICONE NON DOPE SUR SIO2 , DEVRAIT ETRE BEAUCOUP PLUS RAPIDE .

B . CONCEPTION DES EQUIPEMENTS

NOUS ENVISAGEONS UN REACTEUR A PLAQUES PARALLELES AYANT LES CARACTERISTIQUES SUIVANTES :

- CONCEPTION

IL EST EXTREMEMENT IMPORTANT D'UTILISER UNE CONCEPTION MODULAIRE AFIN DE POUVOIR ADAPTER L'EQUIPEMENT A TOUTES LES APPLICATIONS DE FACON OPTIMALE .

- SAS DE CHARGEMENT

LES ESPECES INDESIRABLES ( PAR EXEMPLE VAPEUR D'EAU ) NE DOIVENT PAS PENETRER DANS LA CHAMBRE DE REACTION ET LES EFFETS POST-ATTAQUE DOIVENT ETRE EVITES . CECI PEUT-ETRE REALISE AU MOYEN D'UN SAS A VIDE CONTENANT LES CASSETTES . LE DECAPAGE DE LA RESINE PHOTOSENSIBLE DANS LE SAS DE DECHARGEMENT DOIT ETRE CONSIDERE COMME UNE OPTION .

- ELECTRODES ET CONCEPTION DE LA CHAMBRE

- THERMOSTATS A COMMANDE INDIVIDUELLE POUR LES ELECTRODES SUPERIEURE ET INFERIEURE ET LA CHAMBRE DE REACTION . LA GAMME DE CONTROLE DE LA TEMPERATURE VA DE 15 A 100 } C STANDART ET , A TITRE D'OPTION , JUSQU'A 150 } C .

- DISTANCE DES ELECTRODES REGLABLE ENTRE : 5 - 70 MM ( SYSTEME POUR LOTS ) ; 5 - 70 MM ( SYSTEME POUR TRANCHE UNIQUE ) .

- LE SYSTEME D'ELECTRODES DOIT POUVOIR FONCTIONNER EN HAUTES FREQUENCES ( JUSQU'A 27,12 MHZ ) EVITANT PAR EXEMPLE LE PLASMA PARASITE EN N'IMPORTE QUEL POINT DU REACTEUR .

- L'ATTAQUE AU PLASMA EN PARALLELE ( GP ) ET L'ATTAQUE AUX IONS REACTIFS ( GIR ) DOIVENT ETRE POSSIBLES TOUTES DEUX ( COUPLAGE ANODE ET CATHODE ) .

- CONCEPTION DU VIDE

- LA REGION D'INTERET SE SITUE ENTRE 10 M TORR ET 10 TORR

- VITESSE DE POMPAGE REGLABLE

- CONTROLE DE PRESSION AUTOMATIQUE ET MANUEL AVEC SIMPLE COMMUTATION ENTRE LES DEUX MODES

- UTILISATION DE MATIERES NON CORROSIVES POUR LES JOINTS D'ETANCHEITE ( RACCORDS , O-RINGS ) ET LA TUYAUTERIE .

- ENCEINTE DES GAZ

MANIEMENT SOUPLE DE 1 A 3 GAZ , AVEC 1 A 3 DEBITMETRES , POUVANT ETRE ADAPTE DE PREFERENCE JUSQU'A 5 GAZ ( LE NOMBRE DE GAZ EST UNE OPTION ) .

- CONTROLES

- LES PARAMETRES SUIVANTS DOIVENT POUVOIR ETRE CONTROLES :

CONDUITE ( S ) DE GAZ EN SERVICE

DEBIT

TEMPS DE TRAITEMENT

TEMPS DE STABILISATION

TEMPS D'ATTAQUE EXCESSIVE

PUISSANCE EN HAUTE FREQUENCE

TEMPERATURE DES DEUX ELECTRODES

TENSION AUX ELECTRODES

- LE SIGNAL ELECTRIQUE DES SENSEURS ( SENSEUR DE PRESSION , ETC . ) DOIT ETRE FACILEMENT ACCESSIBLE ( PAR EXEMPLE SUR UNE FICHE STANDARD ) POUR LE CONTROLE DU PROCEDE .

- IL FAUT AU MOINS UN REGARD PERMETTANT D'OBSERVER LE PLASMA ET UNE OU PLUSIEURS BRIDES POUR LA FIXATION DE QUELQUES INSTRUMENTS ANALYTIQUES EN VUE DU CONTROLE DU PROCEDE .

- SYSTEMES DE CONTROLE ( LOGICIEL ) POUR ATTAQUE AUTOMATIQUE

- UN CLAVIER ET LA MEMOIRE REQUISE POUR LA COMMANDE PAS A PAS DU PROCEDE OU DES OPERATIONS DE MAINTENANCE .

- UNE MEMOIRE ENFICHABLE ( PROM ) , PROGRAMMEE POUR LES BESOINS DES UTILISATEURS , POUR L'ATTAQUE AUTOMATIQUE .

- MANIPULATION DES TRANCHES

MANIPULATION AUTOMATIQUE , CHARGEMENT ET DECHARGEMENT CASSETTE PAR CASSETTE , SANS ENDOMMAGEMENT NI CONTAMINATION DE CES DERNIERES . LE SYSTEME DOIT POUVOIR MANIPULER DES TRANCHES DE 3 POUCES JUSQU'A UN DIAMETRE DE 150 MM .

- MAINTENANCE ET SURETE

- DEMONTAGE FACILE POUR NETTOYAGE ET REPARATION .

- NORMALISATION DES BRIDES , JOINTS , FICHES , ETC . AINSI QUE DES PIECES DE RECHANGE .

IV . EQUIPEMENT D'ESSAI

IL CONVIENDRAIT DE METTRE AU POINT DES DISPOSITIFS EUROPEENS D'ESSAI DES CIRCUITS INTEGRES , AYANT LES CARACTERISTIQUES SUIVANTES :

- TYPE ANALOGIQUE-NUMERIQUE INTEGRE ;

- SYSTEME DE CONCEPTION MODULAIRE , POUVANT CONVENIR A DES ESSAIS EFFECTUES TANT AU NIVEAU DU DEVELOPPEMENT QU'A CELUI DE LA PRODUCTION ;

- DEVELOPPEMENT EN DEUX ETAPES , DANS LA MESURE OU IL S'AGIT DE LA PARTIE NUMERIQUE . LA PREMIERE ETAPE DEVRAIT ABOUTIR A LA MISE AU POINT D'UN DISPOSITIF D'ESSAI AUX FREQUENCES DE BASE 10 - 20 MHZ , LA DEUXIEME ETAPE DEVRAIT PARVENIR A 50 - 100 MHZ . CE DEVELOPPEMENT PAR ETAPES PRESENTE UN AVANTAGE : LE SAVOIR-FAIRE TECHNOLOGIQUE , ACQUIS AU COURS DE LA PREMIERE PHASE , POURRA ETRE UTILISE POUR ABORDER LES PROBLEMES QUI SE POSERONT AU COURS DE LA DEUXIEME PHASE DE DEVELOPPEMENT . EN OUTRE , LE DEVELOPPEMENT DES TECHNIQUES D'ESSAI RAPIDE POURRA AINSI ETRE ADAPTE AUX BESOINS DE L'INDUSTRIE EUROPEENNE DES CIRCUITS INTEGRES DANS LE DOMAINE DE LA MISE AU POINT DES CIRCUITS BIPOLAIRES RAPIDES ;

- ESSAI D'APPAREILS AU MOYEN D'UN NOMBRE CROISSANT D'AIGUILLES ( DE 64 A 128 ) ;

- DES PARTIES IMPORTANTES DU SYSTEME D'ESSAI DOIVENT ETRE " SPECIFIQUES ECL " ;

- L'ESSAI DES SEULS CIRCUITS DE MEMOIRE A ETE EXCLU , MAIS LES MEMOIRES SUR PLAQUETTE ACQUIERENT UNE IMPORTANCE TOUJOURS PLUS GRANDE , DE SORTE QUE LEUR ESSAI DOIT ETRE ASSURE ;

- UN MODELE UNIQUE DE LANGAGE EVOLUE D'ESSAI DEVRAIT ETRE FOURNI POUR LES DIFFERENTES CONFIGURATIONS DE DISPOSITIFS D'ESSAI .

V . CONCEPTION ASSISTEE PAR ORDINATEUR ( CAO ) POUR LES CIRCUITS A TRES HAUTE INTEGRATION ( VLSI )

1 . ARCHITECTURE

LES PROBLEMES A AFFRONTER CONCERNENT LES METHODES DE SPECIFICATION , DE SIMULATION ET D'ESSAI AU COURS DE LA PHASE DE CONCEPTION ARCHITECTURALE , AINSI QUE LES STRATEGIES ARCHITECTURALES , TELLES QUE LA GESTION DES ERREURS ET LA STRUCTURE LOGIQUE . LES ACTIVITES SUIVANTES APPARAISSENT NECESSAIRES :

- AMELIORATION DES CONNAISSANCES DE LA TECHNIQUE DE L'ORDINATEUR PAR LES CONCEPTEURS DE VLSI GRACE

A ) AU TRANSFERT DU SAVOIR FAIRE DES CONSTRUCTEURS D'ORDINATEURS ;

B ) A UNE MEILLEURE INTEGRATION DE L'ENSEIGNEMENT DE L'INFORMATIQUE ET DE L'ELECTRONIQUE AU NIVEAU DES UNIVERSITES

- RECHERCHE SUR :

A ) L'ETABLISSEMENT DE LIENS ENTRE LA CONCEPTION COMPORTEMENTALE ET LA CONCEPTION STRUCTURALE , GRACE A LA MISE AU POINT DE LANGAGES ET DE SIMULATEURS APPROPRIES

B ) LA SYNTHESE DE LA LOGIQUE A PARTIR D'UNE DESCRIPTION RTL ( REGISTER TRANSFER LANGUAGE )

C ) LE CONTROLE DES ERREURS , Y COMPRIS LES ASPECTS D'INSENSIBILITE AUX DEFAILLANCES DE L'ARCHITECTURE VLSI

D ) LA LOGIQUE STRUCTUREE , Y COMPRISE MINIMISATION POUR LES PLA ( PROGRAMABLE LOGIC ARRAYS ) ET PROGRAMMATION AUTOMATIQUE DES PLA ET DES ROM ( READ ONLY MEMORIES )

E ) MICROPROGRAMMATION ET AUXILIAIRES DE SIMULATION

F ) MACHINES POUR LE TRAITEMENT EN SIMULTANE DES SIGNAUX

2 . LANGAGE ET STRUCTURE DE DONNEES

2.1 . GESTION DES DONNEES CONCEPTUELLES

LES SYSTEMES DE CONCEPTION GRAPHIQUE TRADITIONNELS DES CIRCUITS INTEGRES SONT FONDES SUR UNE REPRESENTATION INVERSEE DU CIRCUIT A CONCEVOIR . C'EST LA UNE METHODE JUGEE INADEQUATE POUR FAIRE FACE AUX PROBLEMES POSES PAR LA CONCEPTION VLSI . IL CONVIENDRAIT PLUTOT DE DEFINIR LES SPECIFICATIONS PROPRES A UN SYSTEME DE GESTION DE FICHIERS OU DE GESTION DE LA CONCEPTION , COMPTE TENU DES OBJECTIFS SUIVANTS :

1 ) AIDE A LA GESTION D'UN GRAND NOMBRE DE FICHIERS INDIQUANT LES DIFFERENTES RESPRESENTATIONS MODULAIRES POSSIBLES D'UN SYSTEME ;

2 ) PROTECTION DE L'INTEGRITE D'UNE CONCEPTION IMPLIQUANT UN TRAVAIL EN EQUIPE ;

3 ) GESTION DES MODIFICATIONS AU NIVEAU DE LA CONCEPTION ;

4 ) AIDE A LA NOUVELLE REPARTITION DES TACHES DE CONCEPTION ;

5 ) AIDE A LA FOURNITURE D'UNE DOCUMENTATION EN MATIERE DE CONCEPTION .

ON METTRA EN ROUTE LES ACTIONS DE RECHERCHE PERMETTANT D'AMELIORER LE SYSTEME NORMAL DE RANGEMENT OU D'EXPLOITATION , DE MANIERE A ASSURER LES SERVICES CI-DESSUS . LA PLUS PETITE DONNEE UNITAIRE DANS UN MOUVEMENT SERA UN FICHIER COMPLET , DE SORTE QUE LES BASES DE DONNEES TRADITIONNELLES SONT INADEQUATES . LA MISE EN OEUVRE SERA ASSUREE EN TENANT COMPTE DE LA PORTABILITE . UN LANGAGE STANDARD SERA UTILISE , COMPORTANT DES INTERFACES BIEN DEFINIES AVEC LES SYSTEMES STANDARD DE GESTION DE FICHIER . IL DEVRAIT S'AGIR DANS CE CAS D'UNE ACTION REALISEE EN COMMUN PAR LES CONCEPTEURS DE CIRCUITS INTEGRES , LES SPECIALISTES DES OUTILS CAO ET LES INFORMATICIENS .

2.2 . INTERFACE AVEC L'UTILISATEUR

CERTAINS TRAVAUX DE CONCEPTION SONT EMINEMMENT INTERACTIFS ET , S'ILS N'EXIGENT PAS UN ORDINATEUR TRES PUISSANT , ILS DEMANDENT UNE REPONSE RAPIDE ASSUREE DE LA PART DE L'ORDINATEUR . ON CITERA COMME EXEMPLE LA SPECIFICATION THEORIQUE , QUI UTILISE DES TECHNIQUES GRAPHIQUES . CE GENRE D'ACTIVITES PEUT ETRE ASSISTE PAR UN PETIT ORDINATEUR AFFECTE A UN SEUL UTILISATEUR . D'AUTRES ACTIVITES NE SONT PAS ESSENTIELLEMENT INTERACTIVES , MAIS EXIGENT DES INSTALLATIONS INFORMATIQUES TRES PUISSANTES . ON CITERA COMME EXEMPLE LA SIMULATION . CES ACTIVITES NECESSITENT DES SYSTEMES PUISSANTS TRAVAILLANT EN MEME TEMPS .

IL IMPORTE QUE LES ORDINATEURS QUI ASSISTENT CES ACTIVITES CONNEXES SOIENT ETROITEMENT INTERCONNECTES . IL CONVIENDRAIT D'ETUDIER LES TECHNIQUES DE CONTROLE DE LA REPARTITION DES TACHES ENTRE DEUX OU PLUSIEURS ORDINATEURS , AINSI QUE LES TECHNIQUES PERMETTANT UN TRANSFERT SOUPLE DE DONNEES ENTRE CES TACHES . LES PRINCIPES GENERAUX APPLICABLES A UNE GAMME ETENDUE DE MATERIEL INFORMATIQUE DEVRAIENT ETRE DEFINIS .

DANS LE DOMAINE DE LA DESCRIPTION FONCTIONNELLE DU MATERIEL , LA TENDANCE ACTUELLE EST D'UTILISER DES DESCRIPTIONS DE LANGAGE BASEES SUR LE TEXTE , QUI PERMETTENT D'EXPRIMER LA STRUCTURE HIERARCHIQUE , LA MODULARITE ET LA REPETITIVITE , INEVITABLE AVEC LES VLSI . CEPENDANT , LES CONCEPTEURS CONTINUENT A PENSER EN TERMES DE DIAGRAMMES ET LES AIDES GRAPHIQUES SERONT TOUJOURS PRECIEUSES DANS LE PROCESSUS DE CONCEPTION . IL CONVIENDRAIT DE METTRE EN ROUTE UNE ACTION VISANT A ETUDIER LES METHODES PERMETTANT DE COMBINER LES REPRESENTATIONS FONDEES SUR DES TEXTES ET LES REPRESENTATIONS FONDEES SUR DES GRAPHIQUES , DE MANIERE QUE CHACUNE PUISSE ETRE CONVERTIE AUTOMATIQUEMENT DANS L'AUTRE , ET QU'AINSI L'INTERFACE LA PLUS APPROPRIEE PUISSE ETRE LIBREMENT CHOISIE A CHAQUE PHASE DU PROCESSUS DE CONCEPTION .

2.3 . SIMULATION

LES OUTILS DU LOGICIEL SERVANT A LA SIMULATION , AUX ESSAIS ET A LA VERIFICATION DOIVENT COUVRIR TOUTE LA GAMME DES CONCEPTIONS POSSIBLES , DEPUIS LE RTL-S JUSQU'AU NIVEAU DU TRANSISTOR . LES RECHERCHES DEVRAIENT ETRE ORIENTEES VERS LA MISE AU POINT D'UN LANGAGE DESCRIPTIF STRUCTUREL HIERARCHISE SOUPLE POUR LES VLSI , AUSSI BIEN AU NMOS QU'AU CMOS . IL EST NECESSAIRE D'ETUDIER LA POSSIBILITE D'ADAPTER LA GENERATION AUTOMATIQUE DES COMPILATEURS A LA SYNTAXE DES OUTILS A UN SEUL NIVEAU HIERARCHIQUE UTILISES A L'HEURE ACTUELLE ET , CE QUI EST PLUS IMPORTANT , DIRECTEMENT A LA STRUCTURE DES DONNEES DES SIMULATEURS UTILISES EN MODE MIXTE . IL CONVIENT D'APPORTER UNE ATTENTION PARTICULIERE AUX TECHNIQUES DE SIMULATION EN MODE MIXTE DANS LE SECTEUR DES STRUCTURES DE DONNEES , DES ALGORITHMES ET DES MODELES .

POUR REDUIRE LE TEMPS DE CONCEPTION ET REALISER UNE CONCEPTION CORRECTE , IL EST VIVEMENT RECOMMANDE D'ATTACHER UNE ATTENTION PARTICULIERE A L'ANALYSE DES RESEAUX DE VLSI PLUTOT QU'A LA SIMULATION PURE . IL S'AGIT D'UN DOMAINE DE RECHERCHE ENTIEREMENT NOUVEAU QUI SEMBLE TOUT A FAIT REALISABLE A PARTIR DES STRUCTURES DE DONNEES ET ALGORITHMES DES SIMULATEURS EN MODE MIXTE EXISTANT ACTUELLEMENT .

2.4 . VERIFICATION

PLUTOT QUE DE PREVOIR UNE VERIFICATION POUSSEE DES PROCESSUS DE CONCEPTION ACCOMPLIS MANUELLEMENT OU EN INTERACTIF , IL FAUDRAIT S'EFFORCER D'AUTOMATISER LE PLUS POSSIBLE LES OPERATIONS ( COMPILATIONS SUR SILICIUM , METHODE A CELLULES STANDARD , ETC . ) AFIN DE RENDRE INUTILE LA VERIFICATION . POUR QUE LA CREATION OU L'UTILISATION D'INSTRUMENTS DE CE TYPE REPOSE SUR DES BASES SOLIDES , IL CONVIENDRAIT DE PROCEDER A UNE COMPARAISON DES DIFFERENTES APPROCHES ET DES DIFFERENTS SCHEMAS REALISES MANUELLEMENT AFIN DE TROUVER DES CRITERES OBJECTIFS PERMETTANT DE DEFINIR DES PRINCIPES FONDAMENTAUX CONCERNANT L'EFFICACITE DU SCHEMA .

LA CONCEPTION HIERARCHIQUE DES VLSI EST EVIDENTE . LA VERIFICATION ENTRE LES DIFFERENTS NIVEAUX HIERARCHIQUES POSE UN PROBLEME MAIS EST IMPOSSIBLE A EVITER . MALGRE LA HIERARCHIE , LA COMPLEXITE ET LE VOLUME DES DONNEES SONT TELS QU'AVEC LES INSTRUMENTS ACTUELS , LE TEMPS MACHINE NECESSAIRE EST D'UN COUT PROHIBITIF . PAR CONSEQUENT , A L'AVENIR , LES TRAVAUX DE RECHERCHE ET DE DEVELOPPEMENT PRESENTES DEVRONT PORTER SUR DES MODULES MACHINE SPECIALISES ( CONTROLEURS DE REGLES DE DESSIN , MEMOIRE DE FORMES , COMPTEURS ET REGISTRES A DECALAGE OU COMPILATEURS MACHINE PRODUISANT LES STRUCTURES DE DONNEES APPROPRIEES ) .

2.5 . INCIDENCE DES NOUVELLES ARCHITECTURES D'ORDINATEUR

SUR LA BASE DE L'HYPOTHESE SELON LAQUELLE :

- LE LOGICIEL EST A PRESENT FORT ONEREUX ET DEVRAIT ETRE OPTIMALISE ALORS QUE LE MATERIEL EST MEILLEUR MARCHE ET PEUT ETRE UTILISE PLUS LIBREMENT ,

- AU COURS DES DERNIERES ANNEES , TOUTE UNE SERIE DE PROCESSEURS PARALLELES A HAUTE PERFORMANCE ONT ETE DEVELOPPES ET MIS EN OEUVRE ,

- L'ARCHITECTURE D'UNE MACHINE DEVRAIT ETRE ADAPTEE AU PROBLEME QU'ELLE EST CENSEE RESOUDRE ,

DES RECHERCHES ONT ETE PROPOSEES DANS LES DEUX DOMAINES SUIVANTS :

A ) DEVELOPPEMENT DE NOUVEAUX ALGORITHMES PARALLELES ET DE NOUVELLES STRUCTURES DE DONNEES

DANS TOUTE BRANCHE INFORMATISEE , EN VUE D'EXPLOITER ET DE METTRE EN OEUVRE LE PARALLELISME MAXIMAL

B ) ETUDE D'UN NOUVEAU PROCESSEUR DE HARDWARE A BUT SPECIAL

A METTRE EN REGARD AVEC LES SYSTEMES ACTUELS D'ORDINATEUR , DE MANIERE A AMELIORER UNE PARTIE DE LEURS PERFORMANCES D'AU MOINS UN ORDRE DE GRANDEUR .

3 . ESSAIS : RESUME DES RECOMMANDATIONS

LE GROUPE CHARGE DES ESSAIS RECOMMANDE D'ORGANISER LES TRAVAUX FUTURS SUIVANT LES TROIS PRINCIPAUX DOMAINES ET LES THEMES ENONCES CI-DESSOUS :

PRINCIPAUX DOMAINES D'ACTIVITE

* RECHERCHE * SPECIFICATION ET EVALUATION * DEVELOPPEMENT

1 . PRODUCTION DE DONNEES D'ESSAI

- ESSAIS AU NIVEAU FONCTIONNEL ( METHODES ET STRATEGIES ) * +

- ATPG AU NIVEAU DES ELEMENTS * +

- ATPG POUR CELLULES LSI LOGIQUE REGULIERE ETC . * +

- TYPES ET MODELES DE DEFAILLANCES * +

- STRATEGIE DE SIMULATION DES DEFAILLANCES * +

- SYSTEME MODULAIRE ATPG * * + * +

- LANGAGE POUR MTPG * * + * +

- SYSTEME ATDG INTEGRE * * + * +

2 . CONCEPTION EN VUE DES ESSAIS

- PARTITION * +

- CONCEPTION D'UNE RAM EN VUE DES ESSAIS * +

- UNITES MICROPROGRAMMEES * +

- CONCEPTION EN VUE DES ESSAIS TECHNIQUES GENERALES * +

- MATERIEL MIS EN OEUVRE : ESSAIS AUTOMATIQUES * +

- LOGICIEL / MICROPROGRAMMATION : ESSAIS AUTOMATIQUES * +

3 . ACQUISITION ET GESTION DES DONNEES

- SYSTEME D'ACQUISITION ET DE GESTION DES DONNEES * * + * +

- INSTRUMENTS DE DEVELOPPEMENT DU PROGRAMME * * + * +

4 . MODELISATION DES DISPOSITIFS : RESUME DES RECOMMANDATIONS

LE PRESENT RAPPORT SUR LA MODELISATION DES DISPOSITIFS COUVRE TROIS PRINCIPAUX DOMAINES :

- SIMULATION DE DISPOSITIFS NUMERIQUES ,

- MODELES ANALYTIQUES ,

- MODELES DE TABLE .

LES PRINCIPALES RECOMMANDATIONS FORMULEES POUR CHACUN DE CES DOMAINES SONT RESUMEES CI-DESSOUS :

4.1 . SIMULATION DE DISPOSITIFS NUMERIQUES

LE PRINCIPAL OBJECTIF DE CE SOUS-PROJET EST D'INCITER LES CENTRES ET LES LABORATOIRES DE RECHERCHE EUROPEENS A METTRE AU POINT DES MICROLOGICIELS DE SIMULATION DE DISPOSITIFS AVANCES ET DE LES METTRE A LA DISPOSITION DES CONSTRUCTEURS EUROPEENS DE CIRCUITS INTEGRES . LES EUROPEENS POURRAIENT AINSI DEVENIR INDEPENDANTS DE LEURS HOMOLOGUES AMERICAINS ET JAPONAIS . CETTE ACTION EST RENDUE NECESSAIRE PAR LE FAIT QUE , PAR SUITE DE L'IMPORTANCE DES EFFETS BIDIMENSIONNELS ET MEME TRIDIMENSIONNELS , LA SIMULATION DE DISPOSITIFS NUMERIQUES CONSTITUE LE SEUL INSTRUMENT PREVISIONNEL POUVANT ETRE UTILISE DANS LA PRATIQUE POUR LA CONCEPTION DE DISPOSITIFS . IL EST DONC RECOMMANDE QU'AU MOINS QUATRE MICROLOGICIELS DE SIMULATION SOIENT MIS AU POINT ET NOTAMMENT :

- UN SIMULATEUR MOSFET 2-D ,

- UN SIMULATEUR 2-D POUR LES DISPOSITIFS BIPOLAIRES ,

- UN SIMULATEUR MOSFET 3-D ,

- UN SIMULATEUR 3-D POUR DES DISPOSITIFS BIPOLAIRES .

LES SPECIFICATIONS DETAILLEES CONCERNANT LES PHENOMENES PHYSIQUES A INCORPORER DANS LE PROGRAMME , LA STRUCTURE PHYSIQUE ET GEOMETRIQUE DU DISPOSITIF ET LES FONCTIONS GRAPHIQUES I/O ONT ETE ETABLIES POUR CHACUN DE CES LOGICIELS .

4.2 . MODELES ANALYTIQUES ( UNIQUEMENT MOSFET )

UNE ACTION DANS CE DOMAINE EST NECESSAIRE POUR DEUX RAISONS ESSENTIELLES : D'UNE PART , DES MODELES ANALYTIQUES ALLIANT LA PRECISION A LA SIMPLICITE CONVIENNENT PARFAITEMENT AUX CONCEPTEURS DE CIRCUITS POUR LES PROGRAMMES DE SIMULATION DE CIRCUITS CAO ; D'AUTRE PART , LA DEPENDANCE FONCTIONNELLE DE PARAMETRES ELECTRIQUES IMPORTANTS VIS-A-VIS DE LA STRUCTURE GEOMETRIQUE ET PHYSIQUE DU DISPOSITIF EST PLUS FACILEMENT IDENTIFIEE DANS DES MODELES ANALYTIQUES , QUI PEUVENT DONC FOURNIR CERTAINES INFORMATIONS SUR LES PHENOMENES PHYSIQUES INTERVENANT DANS UN DISPOSITIF .

LES MODELES ANALYTIQUES SUIVANTS DEVRAIENT ETRE MIS AU POINT :

MOSFET A CANAL EN SURFACE CANAL LONG , BAS VOLTAGE ( NIVEAU 1 ) CANAL LONG , HAUT VOLTAGE ( NIVEAU 2 ) CANAL COURT , BAS VOLTAGE ( NIVEAU 3 ) CANAL COURT , HAUT VOLTAGE ( NIVEAU 4 )

MOSFET A CANAL ENTERRE CANAL LONG ( NIVEAU 1 ) CANAL COURT ( NIVEAU 2 )

4.3 . MODELE PHYSIQUE

DES SPECIFICATIONS DETAILLEES SONT EGALEMENT PREVUES POUR CHACUN DES MODELES CI-DESSUS . OUTRE LE DEVELOPPEMENT DES MODELES , IL CONVIENDRAIT DE RESOUDRE LE PROBLEME DE L'IDENTIFICATION DES PARAMETRES , NOTAMMENT DANS LA MESURE OU IL S'AGIT DE CHARGES ( OU CAPACITANCES ) .

4.4 . MODELES DE TABLE

LA NECESSITE DES MODELES DE TABLE POUR LA SIMULATION DU SYNCHRONISME A ETE RECONNUE . DANS CES SIMULATEURS , LES CAPACITANCES SONT ASSEZ MAL TRAITEES , ETANT CONSIDEREES COMME DES CONSTANTES ; LES TRAVAUX DANS CE DOMAINE DEVRAIENT DONC PORTER SUR LA MISE AU POINT DE TABLES A LA FOIS POUR LES COURANTS ET LES CAPACITANCES .

LE PRINCIPAL PROBLEME A RESOUDRE EST CELUI DE L'ELABORATION DE REGLES DE CADRAGE , TOUT EN MAINTENANT LA SIMPLICITE DE CALCUL NECESSAIRE A UNE REDUCTION SENSIBLE DU TEMPS CPU PAR RAPPORT AU TEMPS NECESSAIRE AVEC DES MODELES ANALYTIQUES .