Komisjoni 10. oktoobri 2018. aasta delegeeritud määruse (EL) 2018/1922 (millega muudetakse nõukogu määrust (EÜ) nr 428/2009, millega kehtestatakse ühenduse kord kahesuguse kasutusega kaupade ekspordi, edasitoimetamise, vahendamise ja transiidi kontrollimiseks) parandus

( Euroopa Liidu Teataja L 319, 14. detsember 2018 )

Leheküljel 129 punkti 3B001 alapunkti f alapunktides 3 ja 4

asendatakse

„3.

seadmed pooljuhtide maskide valmistamiseks, millel on kõik järgmised omadused:

a.	kasutatakse hälvitatud-fokuseeritud elektronkimpu, ioonkimpu või „laser“kiirt; ja

mis tahes järgmine omadus:

1.	FWHM laotuspunkti suurus väiksem kui 65 nm ja kujundi paigutus väiksem kui 17 nm (keskmine + 3 sigma); või

2.	ei kasutata;

3.	Teise kihi katteviga väiksem kui 23 nm (keskmine + 3 sigma) maskil;

seadmed seadiste töötlemiseks otsekirjutusmeetodeid kasutades, millel on kõik järgmised omadused:

a.	hälvitatud-fokuseeritud elektronkimp; ja

mis tahes järgmine omadus:

1.	väikseim kimbu suurus 15 nm või väiksem; või

2.	katteviga väiksem kui 27 nm (keskmine + 3 sigma);“

järgmisega:

„3.

seadmed pooljuhtide maskide valmistamiseks, millel on kõik järgmised omadused:

a.	kasutatakse hälvitatud-fokuseeritud elektronkimpu, ioonkimpu või „laser“kiirt; ja

mis tahes järgmine omadus:

1.	FWHM laotuspunkti suurus väiksem kui 65 nm ja kujundi paigutus väiksem kui 17 nm (keskmine + 3 sigma); või

2.	ei kasutata;

3.	Teise kihi katteviga väiksem kui 23 nm (keskmine + 3 sigma) maskil;

seadmed seadiste töötlemiseks otsekirjutusmeetodeid kasutades, millel on kõik järgmised omadused:

a.	hälvitatud-fokuseeritud elektronkimp; ja

mis tahes järgmine omadus:

1.	väikseim kimbu suurus 15 nm või väiksem; või

2.	katteviga väiksem kui 27 nm (keskmine + 3 sigma);“.