Oprava nařízení Komise v přenesené pravomoci (EU) 2018/1922 ze dne 10. října 2018, kterým se mění nařízení Rady (ES) č. 428/2009, kterým se zavádí režim Společenství pro kontrolu vývozu, přepravy, zprostředkování a tranzitu zboží dvojího užití

( Úřední věstník Evropské unie L 319 ze dne 14. prosince 2018 )

Strana 129, položka 3B001.f., body 3 a 4: opravuje se zarovnání bodů:

místo:

„3.

Zařízení speciálně konstruovaná pro výrobu masek, která mají všechny tyto vlastnosti:

a.	využívají vychylovaného zaostřeného elektronového paprsku, iontového paprsku nebo „laserového“ paprsku; a

mají některou z těchto vlastností:

1.	stopa paprsku o šířce v polovině maxima (full-width at half maximum (FWHM)) menší než 65 nm a umístění obrazu menší než 17 nm (střed + 3 sigma); nebo

2.	nevyužito;

3.	chyba překrytí masky druhou vrstvou menší než 23 nm (střed + 3 sigma);

zařízení konstruovaná pro zpracování součástek za použití metod přímého zápisu, která mají všechny tyto vlastnosti:

a.	mají vychylovaný zaostřený elektronový paprsek; a

mají některou z těchto vlastností:

1.	minimální velikost paprsku nejvýše 15 nm; nebo

2.	chyba překrytí menší než 27 nm (střední hodnota + 3 sigma);“,

má být:

„3.

Zařízení speciálně konstruovaná pro výrobu masek, která mají všechny tyto vlastnosti:

a.	využívají vychylovaného zaostřeného elektronového paprsku, iontového paprsku nebo „laserového“ paprsku; a

mají některou z těchto vlastností:

1.	stopa paprsku o šířce v polovině maxima (full-width at half maximum (FWHM)) menší než 65 nm a umístění obrazu menší než 17 nm (střed + 3 sigma); nebo

2.	nevyužito;

3.	chyba překrytí masky druhou vrstvou menší než 23 nm (střed + 3 sigma);

zařízení konstruovaná pro zpracování součástek za použití metod přímého zápisu, která mají všechny tyto vlastnosti:

a.	mají vychylovaný zaostřený elektronový paprsek; a

mají některou z těchto vlastností:

1.	minimální velikost paprsku nejvýše 15 nm; nebo

2.	chyba překrytí menší než 27 nm (střední hodnota + 3 sigma);“.